飞秒激光烧蚀研究进展.pdfVIP

第39卷，第12期 VOl39．Nol2 2002年12月 Dec2002 在另一光纤的端面。此处波面由光 来自光纤的渡前 球而测量 纤端面的一个平射金属膜反射，与 参考波面产生干涉，形成干涉图 单模光纤 ．，’ 案。然后将此图案用电荷耦合相机 纤芯■■：、纤芯叠：：I f己录。 像 过去三年，利用此种干涉仪测 量_『许多极紫外光学件，包括凹和 凸球面和球面镜以及完成的投影 从光纤而反射 系统。相移衍射干涉仪现已成为一 的像差波面 十涉罔案 种町靠的生产T-具，测量那些非球 图6使用两根单模光纤的相移衍射干涉仪示意图。以干涉仪检验透镜 面光学件的总面形，其规格为 此装置与用于检验反射镜的装置相类似 O5fm或更小，已成功地测量低达 O35nm表面形状误差。里弗莫尔测 scott Burkhart说：“长期以来，我们 况。” 量组正将此系统升级，使之HJ以_}}=『 一直在进行模拟．以便看看什么样 像所有的干涉仪一样，此种干 来测量低到O．15nm的总表面形状 的尺寸和ff么种类的缺陷会影响 涉仪使用两个光波的干涉网形来 误差。 最终产品。我们最后进行的实验就 测量物体和现象。这些光波波段通 是确定临界缺陷尺寸的F限．” 极紫外光刻在竞争中前进 常都不完美，因为发f{{这些光波的 在掩模缺陷的修复上，该组已 表而或透镜并不完美。仟何不完美 1999年12月，虚拟围家实验 取得一訾大进展，Burkhart说，“一 都会产生测量误差。此种“相移衍 个掩膜价值几万美元．只要有可 射干涉仪”则用衍射产生近于完美 的信任。 能，修复缺陷可为T业部门节约大 的球形波面。在相移衍射干涉仪 在公司的年会上，公司鉴定了 量开支。” 中，两光束分别通过两根光纤，当 四种下一代光刻技术—极紫外、 以原予水平测量 光离开每根光纤的端而时，产生衍 x射线、电_『求和离子柬，并强烈 射，形成近乎完美的球形波面。由 推荐极紫外光刻。Sweeney说，“他 直到最