化学法制备光学薄膜及其应用.pdf

　第36卷第4/ 5期 原 子 能 科 学 技 术 Vol . 36 ,No . 4/ 5 　2002年7月 Atomic Energy Science and Technology J uly 2002 化学法制备光学薄膜及其应用 沈 　军 ,王 　珏 ,吴广明 ,倪星元 ,周 　斌 ,陈玲燕 ( 同济大学 波耳固体物理研究所 ,上海 　200092) 摘要 :概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法 、旋转镀膜法 、喷溅镀膜法 、流延法 、弯月面镀膜 法和涂布镀膜法等方法 ,及其薄膜特性 ,诸如折射率 、激光损伤阈值 、机械强度等的控制技术 ,并展望了 某些新型光学薄膜的应用前景 。 关键词 :化学法 ;薄膜 ;应用 ( ) 中图分类号 :O484 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :1000693 1 2002 04/ Techniques and Appl ications of Solgel Derived Coatings SHEN J un , WAN G J ue , WU Guangming , N I Xingyuan , ZHOU Bin , CHEN Lingyan ( ) Pohl I ns tit ute of S olid S tate Physics , Tongj i University , S hang hai 200092 , China Abstract :Solgel p rocess is one of t he simplest techniques to manufact ure t hin films. The qualit y of t he p rep ared films depends on t he p arameter s of t he solgel p rocess and t he used technique for depo sition . A great variety of t he solgel derived films have been p rep ared for different applications. A review on t he solgel derived coatings is p resented and t he different solgel depo sition techniques are also mentioned . Key words :chemical met hod ; t hin film ; application 　　近年来 , 以溶胶凝胶法为代表的化学法制 镀制任意单组分或多组分氧化物薄膜 。化学法 备光学薄膜越来越受到人们的重视 ,它已发展 制备的薄膜不仅可作为光学膜 ,而且可制成具 成为传统物理方法镀膜的强有力的竞争对手 。 有各种电学 、磁学或化学特性的功能薄膜 。用 这主要是化学法镀膜有如下优点 : 1) 制备工艺 化学法制备的陶瓷薄膜已广泛用于金属防腐保 为常温常压 ;2) 薄膜厚度易控制 ;3) 薄膜纯度 护等领域 。因化学法制备的光学薄膜具有很高 和光学质量高 ;4) 制备费用低 ;