多能碳离子注入纯铁研究.pdfVIP

第40卷第5期 材料保护 V01．40No．5 2007年5月 MatenalsProtection Mav2007 多能碳离子注入纯铁研究 王茜，蒙大桥，刘柯钊， 肖红，张延志，王晓红 (中国工程物理研究院， 四川 绵阳621900) [摘要]利用离子注入表面优化技术，在不同温度下，采用多能量叠加方式将碳离子注入纯铁表面；利 用xRD和AEs等技术分析了表面改性层的相结构以及元素的分布；利用电化学极化法测试了注入样品的抗 腐蚀性能。结果表明，573K时注入的碳离子比373K时注入的碳离子深；纯铁表面改性层有Fe：c、Fe3c新相 生成；离子注入碳提高了纯铁表面抗电化学腐蚀的能力。 [关键词] 纯铁；碳；离子注入；抗腐蚀性能 [中图分类号]TGl74．444[文献标识码]A O前言 1．2离子注入试验 离子注入材料表面改性技术是将高能离子直接打 碳离子注入纯铁试验在LZD．800型功能离子注入 人材料表层，使材料表层的化学成分与组织结构发生 增强沉积设备上进行。本底真空度为1×10叫Pa，注入 变化，从而提高表层的耐磨性与耐腐蚀性能的方 时的真空度为7×10。3Pa左右；靶材为德国进口高纯 法uqj。它与其他表面技术相比具有独特的优点H“J： 石墨，纯度≥99．9％；低温注入靶材的冷却方式为循环 离子注入层与基体结合无界面，不易剥落；可以不受相 水冷却，监测温度在373K左右。高温注入加热的方 图的限制，获得许多“合金相”；通过水冷等措施控制温 式是将样品台悬空，外加陶瓷加热器，加热温度控制在 573 升可以保证注入体的尺寸精度。然而，离子注入改性 K左右。注入参数设置采用能量从低到高依次注 层存在两大缺陷：注入层浅和注入离子呈近高斯状不 入和能量从高到低依次注入两种方式。常用的注入方 均匀分布。高温扩散方法是提高注入改性层深度的可 法为后者，这是因为低能量注入离子深度较浅，如果先 行途径，采用多能注入方法可以改善注入离子不均匀 注入就易被后注入的高能量离子溅射出材料表面。采 分布的情况。本工作结合高温和多能注入方法将碳离 用两种方式可将两种注入方式的效果进行比较。样品 子注入到纯铁表面并研究了表面改性层结构和性能的 编号见表2。 变化。 表2 纯铁注入样品编号 1试验 1．1样品 mm×2 工业纯铁加工为西8 mm的片状样品。离 1．3离子注入深度T砌M模拟计算 子注入前，将纯铁试样的待注入面用水砂纸逐级打磨 至1200号，采用粒度为0．25斗m的金刚石研磨膏抛光 用TRIM软件一1对离子注入参数进行计算。先分 成镜面，并用丙酮清洗后吹干。试样成分见表1。 别计算10，20，30，45，55keV能量下注入元素的深度分 表1 纯铁样品的化学成分 布，作图分别找出5个能量段合适的剂量因子，将5组 计算结果分别乘以剂量因子后叠加作图，结果见图1。 取10keV能量下注入剂量为1．00×1017ion／cm2，则 20，30，45，55 1．50×1017，4．00×1017，4