基于LM算法的无氢类金刚石薄膜喇曼高斯分解.pdfVIP

中国机械工程第 卷第 期 年 月 ’### 文章编号 !##$%’()’###*%’+,%# 基于 -. 算法的无氢类金刚石薄膜喇曼高斯分解 左敦稳 朱纪军 王 珉 摘要 介绍高斯分解及基于 算法 的数值计算方法 并对无氢类金刚 ! -. / 石薄膜的喇曼光谱 曲线进行了分解 结果表 明 数值计算的收敛性较好 数值 0 / / 拟合 的相关系数均大于 完全可 以用于类金刚石薄膜 的微观结构分析 +12 / 0 根据分解结果可知 随着偏压 的增加 带和 带 的分布 中心均 向低频偏 / / 3 4 移 而 带和 带的半高宽之 比呈逐渐增大趋势 这表 明膜层 中 键的含 / 4 3 0 56 量不断提高 同时键的扭 曲程度不断增大 / 0 左敦稳 教授 关键词 高斯分解 喇曼光谱 算法 类金刚石膜 ! 7 7 7 -. 中图分类号 ! $9$:1 文献标识码 ! 8 ; 优质 的类金刚石薄膜具有硬度高 摩擦系数 = 高斯分解及其数值计算方法 低 耐酸碱腐蚀 绝缘性好等独特的机械性能与物 = = 理性能 因此受到 了世界各 国科技工作者 的广泛 J:J 高斯分解 / 关注 其制备技术及其性 能分析 已成为材料 机 高斯分解即是将某个函数分解成若干个满足 / = 械 光学 生物 电子等领域的前沿课题 其 中 无 高斯分布的函数之和 其数学表达式为 / = = = 0 / P 氢类金刚石薄膜 由于可望获得更高的硬度 低摩 ’ % )N% U* Q = KL M)N*L RST6 )* O Q ’