基于WO3和NiOx的单基片全无机智能窗器件的快速制备及其性能的研究.pdfVIP

助 锨 材 料 基于W03和NiOz的单基片全无机智能窗器件的 快速制备及其性能的研究’ 王怀义1”，刁训刚1，王武育3，郝维昌1，王聪1，王天民1 (1．北京航空航天大学理学院凝聚态与材料物理研究中心，北京100083； 2．北京印刷学院基础部，北京102600；3．北京有色金属研究总院，北京100088) 摘 要： 介绍了利用磁控溅射和一种液氮冷却装置， 2实验方法 制备非晶态W03薄膜、非晶态LiNbO。薄膜和纳米微 晶态NiQ薄膜的有效方法。进而，使用这种液氮冷 2．1溅射参数的选择 却装置，采用全程基片冷却方法，制备了单基片无机全 本工作采用的设备为中国科学院沈阳真空科学仪 固态智能窗——GIITOINiO。ILiNbO。lWO。IITO器 件。实验结果表明，在400～800nm的可见光范围内，设备为3个靶位——永磁直流靶、励磁直流靶和永磁 该器件经过1000次循环后，它的漂白态透射率为射频靶的溅射装置。 63．0％，而着色态透射率为10．6％，这一初步工作表 明，基片冷每方法应该是铡备有优异性能的无机全固 的制备参数均分别为Wo。薄膜；永磁直流靶(钨(w) 态电致变色智能窗的有效方法。 关键词：磁控溅射；无机全固态；电致变色；智能窗 中图分类号：0484．1 文献标识码：A 文章编号：1001—9731(2009)08—1292—05 1 引 言 电致变色[1]是指在电场或电流的作用下，材料对 光的透射率和反射率能够产生可逆变化的现象。根据 电致变色机理，电致变色材料可分为阴极电致变色材 料和阳极电致变色材料[2]，而无机金属氧化物W0。和 NiO．分别是典型的阴极电致变色和阳极电致变色材 料。根据国内外的研究报道，无定形非晶态WO。[3~5] 和纳米微晶态Niq[6_81有优异的电致变色性能。进 述)。 而以WOs和Niq作为互补型电致变色层的全固态 五层膜电致变色智能窗凹]的研制受到了广泛的重视。 2．2 但全固态智窗器件多为采用导电聚合物作为离子导电 层的双玻璃夹片式结构[1引，该结构存在着夹片易脱落 玻璃基底上制备各单层膜，使用JapanRigakuD／ dif- RigakuD／2200PC 且结构笨重的缺陷。因此，寻找制备单基片全薄膜智 2200PC衍射仪(X-rayJapan fraction 能窗器件的有效方法，是一项非常有意义的工作。 meter，CuKa，．：I一0．15418nm)获得的。 文献[11]提出了一种利用液氮冷却磁控溅射过程 中的基片，制备纳米微晶态NiQ薄膜的有效方法。 溅射时间均为10min，冷却基片时驱动液氮用的氮气 既然基片低温状态是制备非晶态和纳米微晶态薄膜的 首要前提条件，而用于提供Li+使其注入／拉出电致变 色层发生漂白／着色效应的LiNbO。薄膜也为非晶态冷却基片时驱动液氮用的氮气流量分别为0(室温)、 结构[121，因此，如果利用我们研制的这一装置‘11]，在液 的溅射时间为90min，冷却基片时驱动液氮用的氮气 氮冷却的ITO透明导电基片上，依次溅射NiO．、LiN— 流量为25ml／min。 b03、WOs和(外)ITo各膜层，就有可能制备出有优异 性能的单基片全薄膜智能窗器件。 -基金项目：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2007CB936300) 收到初稿日期：2009—01—12