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CeYIG薄膜中氧空位对光吸收性能的影响.pdf
第35卷第4期 红外与激光工程 2006年8月
V01.35No.4 m鱼lred柚dL船er 2006
En百neering Aug
Ce:YlG薄膜中氧空位对光吸收性能的影响
王巍1.兰中文2。是志刚3
(1.重庆邮电大学光电工程系,重庆帅0065;2.电子科技大学微电子与固体电子学院
四川成都610054;3.电子科技大学电子工程学院,四Jll成都610054)
摘要:讨论了ce替代石榴石薄膜制备务件对其光吸收性能的影响。通过引入氧空住概念,提出了
溅射气氛中的氧含量对薄膜中ce元素价态影响的理论模型。基于该模型,讨论了ce:YIG晶体中氧空
住的产生机理。研究表明,当晶格中存在过量氧空位时,会导致部分F£一被还原成Fe2+,使得薄膜的光
吸收显著增大。实验结果证实,在ce:ⅥG薄膜的晶化过程中,采用富氧气氛可以使得薄膜中ce元素
酌倚态以c矿离子为主而c矿离子含量较少,从而有效降低薄膜的光疆收。溅射气氛中的氧含量及后
续热处理过程中氧含量的大小均会直接影响ce:Ⅵ0薄膜的光吸收特性。
关键词:能带理论模型: 石榴石薄膜; 磁光效应; 光吸收
中图分类号:0484.1文献标识码:A 文章编号:1007—2276(2006)04—048卜04
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