基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法.pdfVIP

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2015-09-04 发布于湖北
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基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法.pdf

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基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法.pdf

第15卷第10期计算机集成制造系统 v01．15No．10 2009年10月 ComputerIntegratedManufacturingSystems Oct．2009 文章编号：1006—5911(2009)10一1921--09 基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法吴立辉，张洁 (上海交通大学计算机集成制造研究所，上海200240) 摘要：为了对大规模、复杂的晶圆制造系统进行有效建模，提出了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统分层建模方法。在设备层，对晶圆制造系统的系统资源，内部行为和知识进行封装，建立了设备层代理模型。在设备组层和系统层，根据系统需求对各设备组内部及其之间的关系进行配置，分别建立了设备层和系统层代理模型。该方法提高了模型的可配置和重用性，降低了建模的复杂性，同时将知识与模型的库所和变迁集成，增强了模型的运行决策能力。通过上海某企业的150mm晶圆的生产数据验证，证明了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统模型的有效性。关键词：代理；晶圆制造系统；Petri网；建模中图分类号：THl66 文献标识码：A for semiconductorwaferfabricationbasedon Modelingtechnology system coloredtimedPetrinet Agent-orientedknowledge ⅣU Li-hui．ZHANGJie (Instituteof 200240，China) CIM，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai Abstract：Foreffective of SemiconductorWafer Fabrication modelinglarge-scalecomplex System(SWFS)，anAgent- Oriented ColoredTimedPetri Knowledge was machine Net(AOKCTPN)modelingapproachproposed．InAgent behaviorsandrelevant were toformthe layer，systemresources，internal knowledgeencapsulatedAOKCTPN—based machinemodels．Inmachine and Agent Agentlayer AoKCTPN．basedmodelswere group systemAgentlayer。the totheinternalandexternal machine ontheAOKCT— configuredaccording