微波多层电路过孑L特性测量方法研究与实现.pdf

第4l卷第1期 电子科技大学学报 、7|oI．4lNo．1 2012年1月 Journal ofElectronicScienceand ofChina Jan．2012 ofUniversity Technology 微波多层电路过孑L特性测量方法研究与实现 田 雨，童玲 (电子科技大学自动化工程学院成都611731) 【摘要】使用矢量网络分析仪测量过孔结构存在测量仪器和被测件连接不匹配、测量结果需要嵌入等困难，通过对过孔 结构特性进行研究，提出了实现过孔特性测量相关的被测件，测试夹具、连接结构、边界条件实现、校准件的设计和去嵌入 方法，并对完全电边界条件下的过孔结构进行了加工测量，测量频段从lOMHz一20GHz，从测量结果的对比可以看出测量连 接和夹具的影响已被去除，获得了更准确地反映过孔特性的测量结果． 关键词去嵌入：夹具；微波多层电路；散射参数；过孔 中图分类号TP206 文献标识码A doi：lO．39690．issn．1001-0548．2012．01．012 for Researchand ofCharacteristicMeasurement Implementation ViaHolesinMicrowaveCircuits Multilayer TIANYuandTONG Ling ofAutomation ofElectronicScienceand 611731) (School Engineering,University TechnologyofChi∞Chengdu Abstract the inherentinthemeasurementofviaholeswithvectornetwork di伍culty Considering analyzer structures．The under themeasurementofviahole ofdevice fixture，test design test,test the methodare and conditions，calibrations，andde-embeddingpresentedexperimentedactually，theoperating coversfrom10Mnzto20 withformer advertside—effectscausedtest frequency GHz．Comparisonresult，the by connectionandfm-turehasbeen moreaccuratecharacteristicofviaholescanbe removed，andfurthermore，the acquired． words hole Key de-embedding；