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EBSD 分析技术在镁合金晶粒尺寸表征中的应用

第 28 卷 第 1 期 电 子  显  微  学  报 Vol28 ,No1 2009 年 2 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 20092 ( ) 文章编号 2009 EBSD 分析技术在镁合金晶粒尺寸表征中的应用 汪炳叔 ,辛仁龙 ,黄光杰 ,陈兴品 ,刘  庆 (重庆大学材料科学与工程学院 , 重庆 400044) ( ) 摘  要 : 分别使用金相法和电子背散射衍射 EBSD 自动分析技术对 AZ31 镁合金轧制退火态样品进行晶粒尺寸表 征 ,发现用金相法统计晶粒尺寸时 ,受制样手段和相机分辨率的影响 ,有些晶界很模糊 ,造成统计的晶粒度偏大 。 而用 EBSD 技术可重构出清晰的晶界 ,进行快速便捷的自动表征 。在处理 EBSD 数据时 ,对如何消除取向噪声及伪 对称性对晶粒尺寸表征中带来的不利影响进行了讨论 。 关键词 : EBSD ; 晶粒尺寸 ;取向噪声 ;伪对称性 中图分类号 : TG113 . 1 ; TF1252 + 2 ;TG11521+ 53 ;TG11523   文献标识码 : A   晶粒大小是金属材料的一个重要参数 ,是影响 金相组织 。常用的统计金相组织晶粒尺寸的方法是 材料塑性和韧性的重要因素 。晶粒度是用于描述晶 割线法 ,沿着横向和纵向随机划线 ,测量线的长度 , 粒大小的参数 ,常用的定量表征方法 :单位体积的晶 然后再计算线穿过的晶粒个数 ,可以得到大概的晶 粒数 目;或单位面积内的晶粒数 目;或晶粒的平均线 粒尺寸 。图 1b 中 ,横向和纵向各划 7 条线 ,横向平 ( ) 长度 或直径 。目前对金属材料晶粒尺寸的表征主 均晶粒尺寸为 118 μ m , 纵 向的平均 晶粒尺寸为 要依赖于金相微观组织的晶界 ,但受制样手段及相 132 μ μ m ,平均晶粒尺寸为 125 m 。 机分辨率的限制 ,某些特殊晶界 ,如小角度晶界 ,很   EBSD 技术可以获得样品中不同晶粒的取向 ,根 难用常规的腐蚀方法清晰显示出来 ,统计出来的晶 据取向信息重构出对应的微观形貌 。取向差分布与 粒尺寸与实际尺寸有一定的偏差 ,而且效率较低 。 位置的关系可以得到不同位置处界面特征信息 。通 近期 ,镁合金作为最有潜力的金属结构材料受到了 过每个取向计算相邻晶粒间的取向差 ,可确定该取 广泛的关注 ,并利用 EBSD 技术分析其在变形退火 向位置是在晶内还是晶界 ,是小角度晶界还是大角 过程 中微 观 组 织及 织 构演 变 是研 究 的热 点之 [8 ] 度晶界 。 一[ 1~3 ] 。EBSD 自动分析技术可以获得样品中不同 目前 HKL Channel 5 软件包所提供的晶粒度表 晶粒之间的取向差 ,通过取向成像技术 ,重构出与取 征有割线法和晶粒重构两套方法 。

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