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LED 蓝宝石晶体制备行业发展现状及趋势/张钦亮等 ·1 · LED 蓝宝石晶体制备行业发展现状及趋势 张钦亮，王 谟，苏静洪，平志韩，杨晓红 （天通吉成机器技术有限公司，海宁 314400 ） 摘要 简述了当前LED 半导体照明主流衬底材料蓝宝石晶体的制备技术方法、性能比较，介绍了蓝宝石晶体制备的 发展现状、市场应用和发展趋势。 关键词 蓝宝石晶体 LED 半导体照明 晶体制备 市场应用 中图分类号：TN304.2 文献标识码：A Development Status and Trends of LED Sapphire Crystal Growth ZHANG Qinliang, WANG Mo, SU Jinghong, PING Zhihan, YANG Xiaohong (TDG Machinery Technology Co., Ltd.，Haining 314400) Abstract The growth technical methods and performance comparison of sapphire crystal for LED semiconductor lighting substrate materials are introduced. The development status and industries applications and trends are reviewed. Key words sapphire crystal ，LED semiconductor lighting，crystal growth，industries applications [1] 0 引言 石、钆镓榴石和尖晶石等重要的宝石晶体 。 提拉法生长蓝宝石晶体的工艺原理是：将原料放在坩埚 蓝宝石晶体是氧化铝 （Al O ）最基本的单晶形态，是 2 3 中加热熔化，在熔体表面接籽晶提拉熔体，在受控条件下使 最硬的氧化物晶体，具有高熔点(2050℃)，高硬度(仅次于金 籽晶和熔体的交界面上不断进行原子或分子的重新排列，随 刚石) 、耐高温、耐磨擦、耐腐蚀、化学性能稳定、透光性 降温逐渐凝固而生长出单晶体，其生长装置如图1。 能好、电绝缘性好等一系列优良的理化特性。随着科学技术 的迅猛发展，蓝宝石晶体已经成为现代工业（尤其是微电子 及光电子产业）极为重要的基础材料。在LED 半导体照明 行业中，由于蓝宝石晶体具有化学稳定性好、不吸收可见光、 价格适中、制造技术相对成熟等显著特点，使之成为当前 LED 半导体照明最为重要的衬底材料。随着最近几年LED 半导体照明行业的跨越式发展，蓝宝石晶体制备产业得到了 前所未有的关注和发展。 1 蓝宝石晶体制备方法 蓝宝石晶体生长方式可分为溶液生长、熔体生长、气相 [1] 生长3 种 ，其中熔体生长方式因具有生长速率快、纯度高 和晶体完整性好等特点，成为制备大尺寸和特定形状晶体最 图 1 提拉法生长装置示意图 常用的晶体生长方式。 Fig.1 The Schematic di