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基于PVDF的微力传感器设计 Design of micro force sensor based on PVDF 1,2 1 1 马超哲 杜劲松 刘意杨 ， ， 1,2 1 1 MA Chao-zhe , DU Jin-song , LIU Yi-yang 1.中国科学院沈阳自动化研究所 沈阳110016 2.中国科学院大学 北京 100049 （ ， ； ， ） 摘 要：目前微装配领域还没有可靠的亚微牛(sub-μN)分辨率的传感器。针对这一实际难题，设计了 一个基于PVDF的微力传感器，使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电 效应和材料力学中悬臂梁结构，设计了PVDF传感器悬臂梁模型。其次由于PVDF产生的电荷 很少且为sub-pc量级，设计了一个信号调理电路把电荷量转换为电压量。最后在New Focus 公司生产的3D智能运动平台上进行实验，实验结果表明，所设计的PVDF传感器分辨力可以达 到在sub-μN范围，从而为自动化生产过程中的批量制造和微装配中微接触力的反馈控制提供 了理论上的解决方法。 关键词：微装配；PVDF微力传感器；信号调理电路 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1009-0134(2015)04(上)-0148-04 Doi：10.3969/j.issn.1009-0134.2015.04(上).44 0 引言 能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压 微机电系统(Micro Electric Mechanical System ， 电效应和材料力学中悬臂梁结构，开发出了一种传感器 MEMS)作为2 1世纪的前沿技术，正快速发展成为一个 模型。其次设计了一个信号调理电路把电荷量转换为电 集微型机械、微传感器、微控制器、微执行器、信号处 压量，最后进行实验验证。 理和智能控制于一体的新兴研究领域。MEMS具有可在 1 压电效应和PVDF悬臂梁模型 狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特 点，故其应用十分广泛，涉及航空航天、军事、生物医 1.1 压电效应 学工程、太空探险和深海探查等诸多领域，一旦技术成 压电效应是指某些电介质在沿一定方向上受到外力 熟并形成产业化必将对国民经济建设、国防建设乃至社 的作用发生形变时，其内部会产生极化现象，在它的两 会发展产生深远的影响。 个相对表面上会出现正负相反的电荷。当外力去掉后， 目前自动化装配领域还未研制出快速和低成本的 该电介质又会恢复到不带电的状态，电介质受力所产 装配MEMS设备。主要原因是微测量中许多结构是脆 生的电荷量与外力的大小成正比。图1是电介质在未受 弱和易破碎的，通常在微牛顿的范围内就会破碎。生 力、受到拉伸外力以及受到压缩外力这三种情况下其内 物医学领域[ 1～3] 的生物力学研究、单细胞操作，航空 部电荷的状态。 航天领域[4,5] 的微加工/微操作等方面的研究都存在微尺 度环境下这种微小力测量的难题。虽然微装配中作用力 已经可以达到微牛力范围，但是现有的大多数传感器并 不能对其进行可靠的测量，如应力计、压阻效应、压磁 效应和电容传感器的分辨力都在mN或mN