基于Si3 N4 薄膜的压力传感器.pdfVIP

2006 年第25 卷第3 期 传感器与微系统（Transducer and Microsystem TechnoIogies ） 71 基于Si N 薄膜的压力传感器! 3 4 1，2 1 1，2 1，2 1，2 1 王 奇 ，赵 湛 ，耿照新 ，方 震 ，曾欢欢 ，张博军 （1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100080 ； 2 . 中国科学院研究生院，北京100039 ） 摘 要：采用微机电系统（MEMS ）技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。基于Si3 N4 压 力敏感膜，利用MEMS 技术，设计了一种用于测量气压的传感器。采用应变电阻原理对压力进行测量，进 行了理论分析计算，设计了工艺过程，制作出了器件样片。这种压力传感器的显著优点是结构简单、工艺 过程容易。并且，在50 ~ 100 kpa 的压力条件下，对传感器进行了测试，其精度达到了0. 5 % 。 关键词：微机电系统；压力传感器；氮化硅 中图分类号：Tp212 文献标识码：B 文章编号：1000 - 9787（2006 ）03 - 0071 - 03 Pressure sensor based on Si N membrane ! 3 4 WANG Oi1，2 ，ZHAO Zhan1 ，GENG Zhao-xin1，2 ，FANG Zhen1，2 ， ZENG Huan-huan1，2 ，ZHANG Bo-jun1 （1. State key laboratory of transducer technology，lnstitute of electronics Chinese Academy of Sciences ， Beijing 100080 ，China ； 2. Graduate School ，Chinese Academy of Sciences ，Beijing 100039 ，China ） Abstract ：Sensors based on microeIectromechaniaI system（MEMS ）technoIogy have the advantages of smaII size ， Iess weight and Iow cost. A pressure sensor based on Si3 N4 pressure sensitive membrane with MEMS technoIogy is designed. Strain gauge is used to measure the pressure. The characteristics of the sensor are caIcuIated and simuIated，process is designed ，and a sampIe sensor is made out. The remarkabIe advantages of the sensors are simpIe structure and easy process. The sensor is tested under the condition of 50 ~ 100 kpa，and its precision is 0. 5 % .