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PVDF薄膜的低维化制备和结构研究
PVDF 薄膜的低维化制备和结构研究/ 惠迎雪等 ∀ 1 ∀
PVDF *
1,2 1 2
惠迎雪 , 樊慧庆 , 刘卫国
( 1 , 710072; 2
, 710032)
采用真空热蒸发技术在单晶硅基底上沉积 PVDF 薄膜, 通过 析阻蒸温度对薄膜沉积速率和真空室气
压变化的影响研究了PVDF 镀膜过程, 同时利用傅立叶变换衰减全反射红外光谱( ATRFTIR) X 射线衍射( XRD)
和差热 析( DSC) 对薄膜的晶型结构进行了表征 析, 结果发现, 真空热蒸发技术可制备具有高度取向性的 晶相
PVDF 薄膜, 且薄膜中不含 C= C 键相比于 PVDF 树脂粉末, 所得薄膜的结晶度明显增大而 子量显著减小, 实现
了PVDF 薄膜的低维化制备
PVDF
Research on the Preparation and Microstructure of Low
Dimensional PVDF Thin Films
1,2 1 2
XI Y ingxue , FA N Hui ing , LIU Weiguo
( 1 State Key Laboratory of Solidification Processing, School of Materials Science and Engineering, Northwestern Polytechnical
University , Xi an 710072; 2 Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Film T echnology and Opt ical Test Open,
Xi an T echnological University , Xi an 710032)
Abstract Ferroelectric poly( vinylidene fuoride) ( PVDF) films are deposited on monocrystalline silicon sub
st rate by vacuum t hermal evaporation technology . T he effect of resistance evaporation temperature on deposition rate
and vacuum is studied t o investigate deposition process of PVDF. The films are characterized by attenuat ed t otal re
flectionFourier transform inf rared(ATRFTIR) , Xray diffraction( XRD) and differential scanning calorimetry( DSC) .
The results show that the low dimensional oriented phase thin films, free of other C= C band are obtained by vacuum
thermal evaporation t echnology. The degrees of crystallinity are increased and molecular weights of oriented thin films
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