溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜.pdfVIP

维普资讯 第35卷 第5期 电 子 科 技 大 学 学 报 VO1．35 No．5 2006年 l0月 JournalofUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina Oct．2006 · 电子信息材料与器件 · 溶胶一凝胶法制备氧化锌薄膜 周 英，邓 宏，李 燕，程珍娟 (电子科技大学微电子与固体电子学院 成都 610054) 【摘要】采用了溶胶一凝胶工艺在普通的玻璃栽玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均 匀的氧化锌薄膜。通过xRD、AFMgt~t．UV光谱仪等分析，其结果表明：所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构，表面均匀 致密，薄膜晶粒尺寸大约在40～90nln，溶胶浓度增大时，其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加，薄膜的(002)~- 向的取向度增