非织造布表面沉积ZnO薄膜的AFM与透光性分析.pdfVIP

第 28 卷 　第 2 期 纺 　织 　学 　报 Vol. 28 　No. 2 2007 年 2 月 Journal of Textile Research Feb. 　2007 ( ) 文章编号 2007 非织造布表面沉积 ZnO 薄膜的 AFM 和透光性分析 1 ,2 1 2 2 邓炳耀 , 晏雄 , 魏取福 , 徐文正 ( 1 东华大学 ,上海 　201620 ; 2 江南大学 生态纺织教育部重点实验室 ,江苏 无锡 　214122) ( ) 摘 　要 　运用射频磁控溅射在非织造布基材上生长 ZnO 纳米结构薄膜。用原子力显微镜 AFM 分析了射频磁控 ( ) 溅射工艺参数 功率、压力、时间 对 ZnO 透明薄膜微结构的影响 ,并用分光光度计分析了样品的透光率。结果表 明:随着沉积时间的延长 ,非织造布表面 ZnO 纳米结构薄膜的致密性、均匀性越来越好 ;较高的溅射功率加速了晶 粒生长 ,但不易太大 ;过大的工作气压使 ZnO 颗粒形状逐渐变差 ;经 ZnO 镀层处理的非织造布对紫外光的吸收能力 随着镀膜厚度的增加逐渐增强。 关键词 　射频磁控溅射 ; 非织造布 ; ZnO 薄膜 ; 工艺参数 ; 透光率 中图分类号:TS1748 　　　文献标识码 :A 　　　 AFM and transmittance analysis of non wovens deposited with ZnO film 1 ,2 1 2 2 DENG Bingyao , YAN Xiong , WEI Qufu , XU Wenzheng ( 1Donghua University , Shanghai 　201620 , China ; 2 Key Laboratory of Science Technology of EcoTextile , Ministry of Education , Southern Yangtze University , Wuxi ,Jiangsu 　214122 , China) Abstract 　A magnetron sputter coating was used in this study to deposit zinc oxide ( ZnO) nanostructure film onto the nonwoven substrate. Atomic force microscopy (AFM) was employed to analyze the effect of RF magnetron sputtering parameters (power , pressure , time) on the microstructure of transparent ZnO film built on the nonwoven sub