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关于工序不良品的分类及入库管理方法(案)
工序 类别 定义 入库包装保管方法 处理方法 来料 来料不良 即毛片来料不良。指毛片来料后,经过品质检验不符合毛片来料标准的晶片。 晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 退货 双研 磨薄片 指双研过程中因研磨过量(或因修复TTV/Ra)致使厚度偏薄,且经品质部门判定无法向下工序流动的晶片。 标明状态与厚度范围。晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 库存。留待特殊规格使用。 外径不良 指因倒边不良致使外径偏小或椭圆形的晶片。 标明状态与厚度范围。晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 报废。可用于试盘加工等。 大磕边 磕边超出规格范围且经品质部门确认无法修复的。 标明状态与厚度范围。晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 报废。可用于试盘加工等。 破损 指加工中产生的裂片、碎片。 纸包装 报废 单研 磨薄片 指单研过程中因研磨过量(或因修复TTV)致使厚度偏薄,且经品质部门判定无法向下工序流动的晶片 标明状态与厚度范围。晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 库存。留待特殊规格使用。 大磕边 磕边超出规格范围且经品质部门确认无法修复的。 标明状态与厚度范围。晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 报废。可用于试盘加工等。 破损 指加工中产生的裂片、碎片。 纸包装 报废 抛光 BOW不良 粗抛后经品质检验判定BOW值超出规格范围的。 标明状态与厚度范围。装卡塞退库。 ???待确定 TTV不良 抛光后TTV超出规格范围的。 标明状态与厚度范围。装卡塞退库。 批量返工 塌边 边缘塌边超出规格范围。 标明状态与厚度范围。装卡塞退库。 批量返工 大磕边 磕边超出规格范围且经品质部门确认无法修复的。 标明状态与厚度范围。晶片叠放,纸包装,塞入包装筒内。 报废。可用于试盘加工等。 破损 指加工中产生的裂片、碎片。 报废 洁净室 按《成品晶片分类标准》进行分类,装卡塞退库。批量返工。 工序不良品分类及入库管理方法(征求意见稿)
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