刀具表面超晶格TiN／AIN纳米多层膜的制备和研究.pdfVIP

维普资讯 16 工 具 技 术 刀具表面超晶格 TiN／AIN纳米多层膜的制备和研究* 陈淑花 潘应君 陈大凯 张细菊 吴新杰 ’武汉工业职业技术学院 武汉科技大学 摘 要：采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN／A1N纳米多层膜，随着调制周期的减小 ，稳定态六方 A1N相逐渐转 变成亚稳态立方 A1N相，形成以TiN／A1N超晶格结构为主的超硬薄膜。与标准图谱的对 比可知，TiN／A1N超晶格是 A1N在模板立方TiN材料的影响下，在 TiN层上以亚稳态相立方结构外延生长所形成。试验表明TiN／A1N薄膜具有 良好的耐腐蚀性能以及使用寿命。 关键词 ：刀具， TiN／A1N纳米多层膜， 多弧离子镀， 耐腐蚀 PreparationandStudyof ／ Nano-multilayeronToolSurface ChenShuhua PanYingjun ChenDakai etal Abstract：Theimpulsemulti-arcionpiing techniqueisusedtoprepareTiN／AIN nano-multilayers．ThesteadyWurtzite- A1NphaseischangedtounsteadyNaCI·typecrystalstructuregraduallywithreducingfilm period．Themainphasestructureofthe muhilayerisTiN／A1N supedauicewithhigherhardness．TheTiN／A1N superlatticewasformedwhenNaCI·typeAIN epitaxi~· growthonTiNfilmsurfaceandinfluencedbytheprototypemateria1．TiN／A1Nmultilayeralsohasexcellentcorrosionresistanceand operatinglife． Keywords：tool， TiN／A1N nano-multilayer， multi-aleionplating， corrosionresistance 过对比试验，分析了TiN／AIN纳米多层膜与TiN薄 1 引言 膜的耐腐蚀性能和使用寿命。 TiN／A1N纳米 多层膜是 纳米复合 薄膜 的一 2 试验方法及设备 种…1，兼具传统复合材料和纳米材料两者的优越性。 一 定调制周期的TiN／A1N纳米多层膜以AIN立方的 试验用基体材料选用 W18Cr4V，平均硬度约 亚稳态形式存在 2j。立方 A1N具有很高的硬度、弹 55HRC；硬质合金刀片，平均硬度 85HRC。沉积试验 性模量、耐磨性、抗氧化性以及高温稳定性，是理想 采用武汉等离子体研究所研制的DHD-08B型多弧 的硬质薄膜材料 3；但这种共价键材料 由于缺少与 离子镀设备 (见图1)，采用左右相对的四个靶作为 金属基体的结合作用很难在金属基体上获得单一涂 弧源，纯度 99．99％的钛靶和铝靶作为沉积的左右 层4J。将通常以六方相存在的AIN在室温下转变为 靶，通过悬挂基体的试样架旋转的方法来制备多层 立方相需要 22．9GPa的压力，在 1800K时发生相变 膜，且试样架转速连续可调。为减少气氛的相互污 所需