三维集成光分束器的研究进展.pdfVIP

2006 年 第3 期 光通信研究 2006 （总第135 期） STUDY ON OPTICAL COMMUNICATIONS （Sum. NO. 135 ） 三维集成光分束器的研究进展 1 2 2 2 孙一翎 ，江晓清 ，杨建义 ，王明华 （1. 深圳大学工程技术学院，广东深圳 518060 ；2. 浙江大学信息与电子工程学系，浙江杭州 310027 ） 摘要：三维集成光分束器在保持二维集成光学器件的可靠性和结构稳定性的基础上，有效扩大了单个芯片上的通信信道数， 增加了集成密度，缓和了二维平面结构输入输出困难等问题。文章对三维集成光分束器的研究进展进行了概述，详细介绍了 已有的三维集成光分束器的结构及制作方法，并对其性能进行了比较。最后，展望了三维集成光分束器的应用前景。 关键词：三维集成光学；光分束器；多模干涉器件 TN256 文献标志码：A 文章编号：1005 - 8788（2006 ）03 - 0061 - 03 中图分类号： Progress in three-dimensional integrated optical beam splitters 1 2 2 2 SUN Yiling ，JIANG Xiaoging ，YANG Jianyi ，WANG Minghua （1. COiiege Of Engineering and TechnOiOgy，Shenzhen University ，Shenzhen 518060 ，China ； 2. Department Of InfOrmatiOn and EiectrOnic Engineering ，zhejiang University ，HangzhOu 310027 ，China ） Abstract ：3-D Opticai beam spiitters effectiveiy increase the density Of integrity and channei number and OvercOme sOme Of the input / Output prObiems in 2-D integrated Optics whiie preserving the reiiabiiity and structurai stabiiity Of the iatter. This paper presents an O- verview Of the advances in the research in 3-D integrated Opticai beam spiitters，a detaiied intrOductiOn tO their existing structures and technOiOgicai schemes and the cOmparisOns Of their perfOrmances and cOnciudes with prOspects fOr their appiicatiOns. Key words ：3-D integrated Optics ；Opticai beam spiitters ；muitimOde interference cOupiers 传统的平面型光分束器只能实现横截面一个方 匀分束。与常规 向上的光功率分配，而相邻波导的最小间距限制了 的二维定向耦合 芯片上的信道数。三维集成光分束器可以实现横截 器相似的是，如 面两个方向的光功率