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电泳沉积法制备锶铁氧体厚膜／王鹏等 ’11· 电泳沉积法制备锶铁氧体厚膜。 王鹏，李军科，彭斌，Y-N朝 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都610054) 摘要 通过表面活性剂十二烷基苯磺酸(DBSA)包覆锶铁氧体，在1一丁醇中制备了稳定的悬浮液并成功电泳 沉积锶铁氧体厚膜。从理论和实验上研究了沉积量及膜厚与电场强度、电泳时间和电极距离等的关系。结果表明电 泳法能够制备质量优异的锶铁氧体厚膜，但沉积条件对厚膜有重要影响。烧结温度为i000℃时可获得磁性能良好 oe。经过分步沉积膜厚可达40 的厚膜，其比饱和磁化强度为45A·m2／kg，剩磁比为0．556，矫顽力为4840 tan左 右。利用该方法制备的膜可用于设计带宽较宽的非互易微波铁氧体器件。 关键词 锶铁氧体薄膜Z