日本光驰HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制.pdfVIP

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2015-09-08 发布于重庆
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日本光驰HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制.pdf

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第卷第期光学仪器 )’ $8 2k!l)’17kl$8 年月 )## $8 234xjHmx7n456074n :s{s@}s|1)## 文章编号!##$% $’#()##*$+% ##,% #, -./ 系列高精度光学膜厚监控系统的研制0 龚健孙大雄李刚正 1 1 株式会社光驰日本琦玉县川越市 ( ( *1 ’$#8#9#* 2342567 摘要叙述了新研制的适用于窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系 ! :;: 统该系统在光谱带宽条件下暗噪声小于性能优于目前的报道使用 = # 1 A###$B 1 = ?@ 它已成功地实现了窄带滤光片全自动成膜监腔由其派生出的 ## 1$# = CDE CDE:;: 系列的其他类型光学膜厚监控系统可适用于不同的优质膜的过程控制 D2 1 = 关键词镀膜光学膜厚监控滤光片 ! F F :;: 中图分类号! G9GG 文献标识码! 2 H N -./ IJKLJIMLOKJPLILQRQOSLPTUSMLPVRJIIWQRLSQK 1 8 1 8 XYZX [\]^ _‘Z a]b\c^d efX]^dghi^d ( l 1 ’$#8#9#1 * 2342567 jk m4: nopqo@ors? touo? ! 8 vwISKTPSxqpyzsy{|p}szp?q~pyo|qp{!sq~oqo~pu|s{pypk?kuqp{o!@k?pqk|yyqs@ #~p{~py$yszp?q~s ( * 8 l {koqp?%k:;: :s?ys;o’s!s?%q~:p’pypk?$!qpu!s(p?% ?o||k# }o?zuoyyp!qs| 6yp?%q~py@k?p8 qk|y 1 ## $# l yqs@ #s~o’sy${{sszszp? CDEo?z CDE:;: )p!qs|$!!o$qk@oqp{o!! 4~s}o?z#pzq~ #l