介质阻挡放电中的能量转换过程研究.pdf

第56卷第12期2007年12月 物 理 学 报 1000-3290／2007156(12)／7078．06ACTAPHYSICASINICA ⑥2007 Chin．Phys．Soc． 介质阻挡放电中的能量转换过程研究* 尹增谦’ 万景瑜 黄明强 王慧娟 (华北电力大学数理系，保定071003) (2006年12月30日收到；2007年5月8日收到修改稿) 研究了介质阻挡放电过程中的电流强度、电场强度以及电荷分布的演变规律，并对能量转换性质进行了分析． 研究结果表明，在一个放电脉冲过程中，外加驱动电源所作的功、电场能量的增量均与起始时刻的壁电荷密度有 关，而气体中放电电流所作的功即沉积于气体中的能量与起始时刻的壁电荷密度、放电电流的具体波形无关． 关键词：介质阻挡放电，壁电荷，动力学过程，能量转换 PACC：5150，5280 1．引 言 2．DBD概述 放电具有瞬态放电、等离子体参数(电子温度和 DBD的典型特征是在至少一个电极上覆盖有 电子密度)方便可调、可工作在高气压条件等独特性 电介质层，当外加驱动电压增大从而使气体内的电 barrier 场强度达到击穿场强既时发生放电，放电电流将 质，介质阻挡放电(dielectric discharge，简记为 带电粒子积累到电介质表面形成壁电荷，从而产生 DBD)作为典型的远离平衡态的交流气体放电，被广 与驱动电场方向相反的内建电场．内建电场的产生 泛地应用于材料表面改性、臭氧合成以及等离子体 导致气隙内总电场强度的减小，当总电场强度减小 显示等…工业领域．由于DBD的非线性等独特性 到低于放电维持电场强度(又称熄灭场强)E。时，放 质，近年来成为等离子体物理学、斑图动力学的前沿 电就终止．只有当外加电压增大或反向时，才能发生 研究课题n】．以上两个方面都需要深入研究放电的 下一次的放电¨¨．在DBD的放电过程中，壁电荷对 动力学过程，所以，作为应用和理论研究基础的 放电的时空特性有着重要的影响阻_1剖，分析壁电荷 DBD动力学过程研究更是备受关注b～]．在DBD动 对放电过程中能量传输的影响具有重要意义． 力学过程的研究工作中，主要采用实验研究-131和 数值模拟‘卜纠的手段，研究交流电压驱动的DBD中 3．能量传输及动力学过程分析 各种参量的时空演化性质．DBD过程中的气体放电 电流与电路中总电流的关系、壁电荷(又称记忆电 3．1．模型建立 荷)对放电过程的影响以及放电过程中的能量转换 如图l所示，假设DBD装置中每个介质层厚度 关系，对于深入揭示DBD动力学过程的规律以及建 和放电气体的厚度分别为d。和d。，电极板(电介 立实验结果与理论分析结果之间的纽带具有十分重 质)面积为S，电介质的相对介电常数为￡，，外加电 要的意义．本工作采用简化的DBD模型，研究直流 压为U，金属极板上的自由电荷面密度和电介质层 电压驱动情况下的电场分布、壁电荷演化规律以及 上的壁电荷面密度分别为ar0