干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用.pdf

第32卷第1期 激 光 技 术 V01．32，No．1 2008年2月 IASER7rECHNOLOGY February，2008 文章编号：1001—3806(2008)01—0105．04 干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用 陈凤超，黄佐华’，李榕 (华南师范大学物理与电信工程学院，广州510006) 摘要：干涉条纹周期是干涉精密测量中的一个较为重要的参数。为了可以简单快速而不失准确性地测量条纹周 期，采用了图像处理实现干涉条纹周期测量的较为简单实用的算法。通过MATLAB平台设计相应的图像数据处理软 件，分析影响条纹周期测量精度的因素，给出处理过程对条纹倾斜度的要求，并应用于相板的位相的定量检测，获得了相 板的位相大小。结果表明，测量相位精度达A／20一A／50或可／lO～，Ir／25。这一结果对位相物体的厚度和折射率的测量 有很大的帮助。 关键词：仪器测量与计量；干涉直条纹周期；倾斜度；图像处理；位相测量 中图分类号：TM930．12+6文献标识码：A Measurementofthe of interferenceand periodstraight fringes its in detection application phase CHEN Feng—chao，HUANGZuo—hua，LI Rong of andTelecommunication ChinaNormal (SchoolPhysics Engineering，SouthUniversity，Guangzhou510006，China) ofinterference all in Abstract：The is measurement．Inordertodetectthe period fringes importantparameterprecision ofinterference andfastbut and Was not period fringessimply inaccurately，asimplerpracticaldigitalimageprocessingalgorithm todetectthe ofinterference data softwareWas ontheMATLABand adopted period fringes．Theimageprocessing designed platform thefactors themeasurementofthe were demandofthe inclinationWas affecting acc眦cy periodof酗ngesanalyzed．The fringes in wagusedthedetectionof the ofthe Was of given．Thealgorithm ph