多弧离子镀CrN薄膜的耐腐蚀性能.pdfVIP

多弧离子镀 CrN薄膜的耐腐蚀性能 张 焱，高 原。吴炜钦 (桂林电子科技大学材料科学与工程学院，广西 桂林 541004) [摘 要] 单相CrN薄膜较难制取，国外已形成商用，而国内相关研究尚处于起步阶段。采用多弧离子镀技术在 45钢表面沉积CrN薄膜，通过扫描电镜观察了CrN薄膜的表面形貌，采用x射线衍射仪对其相结构进行 了分析， 分别讨论了crN薄膜在3．5％NaC1溶液、1mol／LNaOH溶液和 1mol／LH2SO4溶液中的电化学腐蚀性能，在其他 制备参数不变的条件下，考察了氩氮流量比对薄膜组织结构以及性能的影响。结果表明：随着氩氮流量比的减小， CrN薄膜表面的液滴尺寸和数 目逐渐减小；薄膜主要以CrN相为主，随着氩氮流量比的增大，CrN(1l0)的峰值逐渐 减弱，CrN(200)的峰值逐渐增强；随着氩氮流量比的减小，CrN薄膜在 3．5％NaC1溶液、1mol／LNaOH溶液和 l mol／LH2SO溶液中的耐蚀性均得到提高，在氩氮流量比1：3时，薄膜的耐腐蚀性最佳。 [关键词] 多弧离子镀；CrN薄膜；耐蚀性；氩氮流量比；45钢 [中图分类号]TG156 [文献标识码]A [文章编号]1001—1560(2014)05—0008—03 0 前 言 1 试 验 与TiN薄膜相比，CrN薄膜具有高硬度、高耐磨性、 1．1 基材前处理 优 良的抗高温氧化性和耐蚀性，在模具、切削工具、防 基材为 45钢 ，尺寸为 l5mm×15mm，放入 XG 腐蚀、装饰等领域都有着重要的用途。目前，在发达国 系列 自动控制高频感应加热装置中进行淬火处理，待 家 CrN薄膜已处于商用程度，而国内还处于研究的起 温度达到850oC后取出并迅速放人水中冷却；将其表 步阶段_】J。由于位于第VI主族的Cr和位于第 V主族 面打磨至 1500号砂纸，用抛光机抛光，使其表面粗糙 的N之间的反应活性比较低，即使发生反应，也容易在 度R。0．8 m；先后放入酒精和丙酮中进行超声波 CrN薄膜 中出现 Cr，N相组，因而难 以得到单一的 CrN 清洗 ，时间各为20min，最后将试样烘干。 薄膜 J。如果薄膜中同时存在 CrN相和 Cr：N相，薄膜 1．2 多弧离子镀 CrN膜 的硬度则要 比单相的 CrN薄膜以及 CrN薄膜 的硬度 采用 TSU．650离子镀沉积设备进行 ：将试样 固定 都要低 J。因此，制备单相的CrN或者CrN薄膜、尤 在试样架上，关闭炉体，打开机械泵抽真空至炉内气压 其是制备性质更稳定、性能更优越的单相CrN薄膜具 小于 1Pa时，打开偏压电源作等离子清洗，去除其表面 有深远的实际意义。目前国内相关研究不多。本工作 氧化膜，偏压为一800V，时间30min；打开分子泵继续 采用多弧离子镀技术在45钢表面沉积 CrN薄膜 ，分析 抽真空，直至 l0 Pa，同时打开加热系统升温，温度为 了氩氮流量比对薄膜的相结构、表面形貌及耐腐蚀性 200oC时，通入氩气直至炉 内压强为 0．65Pa，点燃 Cr 能的影响。 靶沉积过渡层，10min后通入N ；根据所需气压按照氩 氮流量比调节气体流量进行 CrN薄膜的沉积，沉积结 [收稿 日期] 2013—12一l6 束后将工件冷却至 5OcI=以下出炉。沉积参数：温度 [基金项 目] 国家 自然科学基金资助项 目；国家 200℃，弧电流68A，压强0．65Pa，偏压200V，氩氮流 自然科学基金青年基金 ；广西自然 量比取分别为5：1，2：1，2：3，1：3，时间60min。 科学基金重点项 目(2o10GXNSFDo13008)；桂 1．3 测试表征