基于原位纳米力学测试系统的单晶硅微观机械性能实验.pdfVIP

· 30 · 材 料 开 发 与 应 用 2010年 1O月 文章编号：1003—1545(2010)05-0030-04 基于原位纳米力学测试系统的单晶硅 微观机械性能实验 王 乾 (常州轻工职业技术学院，江苏 常州 213164) 摘 要：在纳米硬度计上对单晶硅进行了微压痕测试实验 ，以对单晶硅的微观力学性能有所认识。微压痕测 试表明：单晶硅的弹性模量在压入载荷小于2400~N的范围内随载荷变化而波动变化 ；而在压入载荷大于 24001xN后保持相对的稳定值(约为214GPa)；单晶硅的表面硬度在压入载荷小于1000p,N的范围内随载荷变 化而线性增大，而后突然降低并保持相对的稳定值 (13．5GPa～15GPa)；单晶硅在纳米压入过程 中，材料的破 坏形式为脆性破裂，并且随压人载荷的增大而在压痕边沿产生堆积，堆积程度亦逐渐增大。 关键词：原位纳米力学测试系统；单晶硅；微观机械性能 中图分类号：TM914．4 1 文献标识码：A 硅材料在微型机 电系统 (MEMS／NEMS)中 晶硅的微观力学性能进行了测试 ，对测试结果 的应用Et益受到重视，这是由于其具有硬度高、 进行了分析，以期为后期的单晶硅微观摩擦学性 成本低廉、表面粗糙度小、以及可实现集成制造 能研究打下基础 。 和器件微小型化等特点。目前，全球应对能源危 机，人类迫切需求对环境友好的可再生能源 ，太 1 实验材料及过程 阳能发电被认为是 21世纪最重要的新能源，它 具有无污染、资源永不枯竭、资源分布广、使用安 本实验中的单晶硅片由北京赛诺硅业有限 全、寿命长和维护简单等特点。太阳能电池就是 公司生产，N型，(111)晶向，直径为40±2mm， 利用光电转换技术将太阳能直接转换为电能，是 厚度为 3204-lOixm，电阻率在 35～50O．／cm之 使用太阳能的最有效方式。其中，硅太阳电池在 间，双面经 CMP抛光处理，表面粗糙度不大于 太阳电池中占有极其重要的地位。硅基太阳电 5nm，如图1所示。 池占据了光伏市场90％以上的份额，同时也一直 样品的微观力学性能在中国矿业大学可靠性 是研究领域的焦点。 研究所的原位纳米力学测试系统 (TriboIndenter， 单晶硅太阳能电池是研究应用最早的硅太 美国Hysitron公司研制)上采用微压痕法来测试。 阳能电池，其转换效率最高，技术也最为成熟， 压针为标准玻氏压针(Berkovichtip)。测试时仪 多用于光照时问少、光照强度小、劳动力成本高 器采用定载荷控制方式，即最大载荷的设定可以 的区域，如航空航天领域等。故此单晶硅加工领 更改，而加载时间、保持时间和卸载时间均保持不 域的研究得到更多的重视，学者们通过实验对单 变为 5秒。设定 的最大载荷分别为：IO0~N、 晶硅的相关机械性能进行了考察。然而，硅材料 2001xN、300~N、…、1000 、12001xN、1400 、直到 在宏观和微观尺度下的机械性能存在一定的差 4ooo~ ，