电容传感微小孔径的测量方法.pdfVIP

第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 拓 】拼 份 《 年 月 明 例 朋 理如 均吧 场 电容传感微小孔径 的测 方法 孙长库, 王 小兵 , 刘 斌 , 郑义忠 天 学 测 及 器 国 重点实验室 , 天 津大 精密 试技术 仪 家 津 摘 要 分析 了 电容传感器 的基本原理 , 推导 了 电容传 感器浏 小 孔 内径 的数学模 型 , 组 建 了 电容传 感徽孔 浏 童 , 了 , 系统 研 究 扔 徽孔 电容传感器 的制作方 法及浏 全 系统 的标 定方 法 所制作 的浏 孔传 感器经标 定后 浏 童分 、 并率达到 阿 该浏 黄 系统操作 简单 , 可通过 接 口 结合浏贵软件在计葬机上直接读 出徽 小孔 的 内径值 关扭词 电容传感器 微小孔径 非接触侧量 标定 圈 号 文献 识码 文章编号 一 拓 一 · 中 分类 标 以 ‘ 压 扮 · 一 , 一 , , 一 叮 钊 , 城 , 下 ,