多孔阳极氧化铝薄膜的制备.pdfVIP

维普资讯 56 材料工程 ／2005年 5期 多孑L阳极氧化铝薄膜的制备 FabricationofAnodicAluminaM embrane 魏 剑 ，李克智，李贺军，李正佳，付前刚 (西北工业大学碳 ／碳复合材料工程技术研究中心，西安 710072) WEIJian，LIKe-zhi，LIHe-jun，LIZheng—jia，FU Qian—gang (c／cCompositesTechnologyResearchCenter，Northwestern PolytechnicalUniversity，Xian710072，China) 摘要：采用二次氧化的方法，在短时间内制备了多孔阳极氧化铝薄膜 (AnodicAluminaMembrane，简称 AAM)，借助扫 描电子显微镜 (SEM)，能谱分析 (EDS)和x射线衍射 (XRD)等测试手段分析了氧化铝膜的微观形貌和晶体结构，讨论了 电解液温度波动和铝材表面缺陷对 AAM表面形貌的影响。研究结果表明：制备的多孔氧化铝薄膜是非晶态氧化铝，在 其表面孔径为 5O～70nm的六边形孔洞分布均匀 ，且垂直于薄膜表面平行生长。氧化过程中，电解液温度的稳定有利于 形成规则的孔洞阵列；通过电化学抛光预处理，可有效去除机械划痕，避免薄膜表面沟壑状形貌的形成，提高了孔洞分布 的均匀性 。 关键词：阳极氧化铝；薄膜 ；孔洞阵列；纳米材料 中图分类号 ：0464．542 文献标识码 ：A 文章编号：1001—4381(2005)05—0056—04 Abstract：Anodicaluminamembrane (AAM)wasfabricatedbytwo—stepanodizingprocessinoxalic acidsolution．Theeffectsofelectrolytictemperatureandelectropolishingonthefinalaluminatextural propertieswereresearched．Themorphology andcrystallinestructureoftheas—receivedAAM were investigatedbyscanningelectronmicroscopy(SEM)withenergydispersivex-rayspectroscopy(EDS) system andx-raydiffraction (XRD)．ThehighlyorderedhexagonalporesgrowninAAM withdiame— tersof50 ，、—70nm andthicknessofseveraltensofmicrometerspackwitheachothercloselyandthe AAM isanamorphousaluminastructure．Inaddition，thestabilizationofelectrolytictemperatureand electropolishedtreatmentarepropitioustOform ideallyorderedhexagonalporesinAAM ． Keywords：anodicalumina；membrane；poresarray；nanomaterial 具有规则纳米孔洞阵列的阳极氧化铝薄膜 (A— 目前已有大量关于氧化铝薄膜制备方面的文献报 nodicAluminaMembrane，简称 AAM)，由于其独特 道 ，但主要集 中在讨论 电压[1 、氧化时间[1“ 、 的几何结构和纳米级的孔洞尺寸，近年来在纳米材料