金刚石镀钛层的结构讨论.pdfVIP

第 2O卷 第5期 超 硬 材 料 工 程 Vo1．20 2008年1O月 SUPERHARDMATERIAL ENGINEERING Oct．2008 金刚石镀钛层的结构讨论① 贾 攀 ，卢灿华 郑大方 ，郝兆印。 (1．中南金刚石有限公司，河南 南阳 473264}2．吉林大学测试中心，吉林 长春 130021； 3．吉林大学超硬材料国家重点实验室，吉林 长春 130026) 摘 要：采用微区X射线衍射技术 (XRD)和XPS测量技术，对金刚石单晶体镀铁层的结构进行了测量，结 果显示金刚石镀铁层的TiC多．晶体结构有明显的织构现象。 关键词：金刚石；镀铁层；织构 中图分类号：TQ164 文献标识码 ：A 文章编号：1673—1433(2008)05--0005--04 Discussionon thestructureofTi—platedcoatofdiamond JIA Pan ，LUCan—hua，ZHENG Da—fang，HAo Zhao—yin。 (1．NanyangZhongnanDiamondCo．，Ltd，Nanyang，Henan473264，China； 2．TestingCenterofJilinUniversity，Changchun130021，China； 3．NationalKeyLaboratoryforSuperhardMaterialsinJilinUniversity，Changchun130061，China) Abstract：IthasmeasuredthestructureofTi—platedcoatonmonocrystaldiamondbyXRD andXPS．TheresultshowsthatthetexturewasobservedinTiCpolycrystallinestructure ofTi-platedcoatofdiamond． Keywords：diamond；Ti—platedcoat；texture 1 引言 2 实验结果 关于金刚石镀钛层的结构研究，已经有多年的时 间，发表了很多论文[1q]。但是，由于镀钛层结构的复 用X射线光电子能谱(xPs)仪对样品进行了表 杂性以及这个问题的重要性，实在是有必要进行细致 面测试，测试之前用氩离子枪对样品进行刻蚀 ，时间 的测量与讨论的。笔者 已经就镀钛层的晶体结构发表 是20min，深度大约是50nm。然后对样品进行测试，结 了两篇文章[4]，但没有涉及镀钛层的织构问题。本次 果如图1和图2所示。CS谱图呈现两个分开的峰， 试验使 用 BRUKER公 司生产 的D8DICOVERY 282．8eV对应的是TiC中的C，285eV对应的是金刚 WITHGADDS微区X射线衍射仪 (XRD)对样品进 石 中的 C。Ti也 呈现单 一的化 合物，结合能是 行相结构测量，衍射线的斑点直径约在 lO09m之内。 455．1eV，对应的是TiC的Ti。 该仪器使用计算机对样品进行定位测量，显示器上可 样品的XRD试验是在镀钛金刚石颗粒中随机挑 以清楚显示样品的表面形貌，同时显示出X射线照射 选 5粒，金刚石颗粒在测试台上放置方式也是任意 的样品的斑点的位置。同时用XPS技术对镀钛层表 的，得到5条X射线衍射条纹，具体的衍射结果见图3 面的Ti原子与C原子的价态进行测定。 至图7。图3给出的是两个金刚石单晶样品的衍射结 ① 收稿 日期：2