可提高有色金属表面加工精度的新型细晶粒金刚石涂层工具.pdfVIP

维普资讯 第2o卷 第1期 超 硬 材 料 工 程 Vo1．2O 2008年 2月 SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING Feb．2008 可提高有色金属表面20-r精度的 新型细晶粒金刚石涂层工具① [Et] H．Hanyu 等 摘 要：尽管金刚石涂层刀具具有许多独一无二的特性，但是由于金刚石晶粒粗大，容易造成刀具表面粗 糙，所 以阻碍 了其在精细加工领域 的应用。文章开发 了一种金刚石 晶粒细小的新型金刚石光滑涂层 ，刀具 表面粗糙度最大值小于 1m。采用这种涂层的立铣刀具进行 了一系列有色金属切 削测试 ，通过观察发现 ， 精加工后的器件表面粗糙度最大值小于 1m，获得 了和使用无涂层硬质合金立铣刀表面粗糙度一样的加 工效果。并且 ，没有对表面涂层的耐磨性和刀具使用寿命产生任何影响 。 关键词 ：金刚石 ；涂层工具；光滑表面 ；立铣刀 中图分类号：TQ164 文献标识码 ：A 文章编号：1673—1433(2008)01一OO52一O3 1 序言 细晶粒的实验 。其中，德 国CemeconGmbh已经能够 把纳米金刚石涂层商业化，其金刚石晶粒大小在10～ 近年来，化学气相沉积 (简称CVD)技术沉积金 20nm。尽管其金刚石表面相当光滑 ，但是这种细小的 刚石涂层的切削工具被广泛用于加工诸如铜铝合金 纳米 晶粒在耐磨性方面的表现 尚不确定。在本研究 等类型的有色金属材料。由于金刚石的极高硬度 ，同 中，作者试 图细化普通金刚石晶粒，以达到能够满足 没有涂层的刀具相 比，金刚石涂层刀具表现更优异 ， 前面提到 的精加工表面粗糙度要求。使用这种新型细 使用寿命更长。然而在应用涂层刀具到精加工中时， 晶粒金刚石涂层，可 以获得表面粗糙度最大值小于 由于CVD法沉积得到的金刚石晶粒较粗 ，涂层刀具 1m 的光滑表面，并且晶粒形貌的变化对金刚石涂 的金刚石晶粒一般有几 m大小，导致金刚石涂层表 层耐磨性和刀具使用寿命也不会产生任何影响。 面粗糙，晶粒的尖点在工件表面划下与它高度相同的 深度的划痕，其加工精度无法满足以往要求的工件表 2 新型金刚石涂层开发 面粗糙度要求。 举例说明，在加工铝合金材料过程中，要求的精加 2．1 晶粒尺寸的控制 工表面粗糙度一般为最大值小于1m。如果使用具有 典型的CVD金刚石晶粒通常呈柱形结构 ，这类 尖锐精确边角的硬质合金刀具 ，可获得上述所说的表 金刚石涂层刀具的表面 晶粒形貌如图1(a)。在生长 面粗糙度 。然而 ，所不足的是 ，没有涂层的硬质合金刀 面 ，目前大多数用于切削刀具的涂层 ，晶核尺寸在5～ 具在接触点的抗粘着性方面远差于有金刚石涂层的刀 10~／m，厚度14~／m。金刚石涂层合成大多采用CVD法。 具。为了降低金刚石涂层表面粗糙度，yoshikawaetal 为了沉积出表面更光滑的金刚石涂层，我们尝试通过 简单地抛光了金刚石涂层 ，通过多次实验，在克服金刚 改变CVD沉积条件 ，来减小晶粒尺寸，例如通过控制 石涂层刀具上述表面粗糙度 问题后，金刚石涂层刀具 腔体压强、基体温度、灯丝温度、流速等参数来降低晶 已经引入到了精加工领域。然而，由于具有复杂的几 粒长大速度 ，提高新核的二次成核 。基体材料选择钴 何形状，这类技术难 以应用于具有旋转轴的工具。 含量6 的硬质合金 ，其晶粒大小为 1～2m。