硝酸盐PAD法快速制备YBCO超导薄膜研究.pdfVIP

助 能 曹孝 料 2012年第8期(43)卷 硝酸盐 PAD法快速制备 YBCO超导薄膜研究 严武卫 ，张成孝 ，王鹏飞 ，金利华。，李成山。，卢亚锋 (1．陕西师范大学 化学与材料科学学院，陕西 西安 710062； 2．西北有色金属研究院超导材料研究所，陕西 西安 710016) 摘 要： 用硝酸盐高分子辅助沉积法 (简称 PAD)来 残余的碳仍然存在。残余的碳会隔离YBCO 晶粒，导 制备 YB。C。O一 (YBcO)超导薄膜，有着制备速度快、 致晶界之间连接较弱，引起转变温度 丁c下降。将三 工艺简单和无环境污染等优点。采用硝酸盐水相前驱 氟乙酸盐全部替换为硝酸盐前驱物，采用高分子辅助 液 ，并加入高分子螯合剂和薄膜改性剂，然后将前驱液 沉积法 (PAD)来制备 YBCO涂层导体 ，可 以降低碳 的 涂覆在 LaAlO。(LAO)单基 晶片上 ，采用快速低温分 引入量 ，提高 YBCO薄膜的电性能。高分子辅助沉积 解，再经过 高温烧结制备 出完整的YBCO超 导薄膜。 法是近几年发展起来的一种新 的化学溶剂沉积方法 ， 在 1．0×10_。。O。／N 气氛下制备 的YBCO超 导薄膜 主要应用于金属氧化物和氮化物薄膜制备 ]。高分子 致密，YBCO(OO1)峰取 向明显 ，没有其它杂相峰 ，同时， 辅助沉积成本低 ，稳定性和可控性好 ，易规模化生产 ， 转变起始温度 Tc一91K，转变宽度 △Tc：2K；在 77K、 并且可 以精确地控制薄膜中各个元素的比例和适应不 自场下临界 电流密度 ．厂 为约 1MA／cm 。实验结果表 同的基底上的制备 。该方法首先将金属无机盐和水溶 明，采 用硝 酸 盐 PAD 法 的低 温分 解 时间 比传 统 的 性 的高分子混合形成均匀稳定的前驱物水溶液 ，再将 TFA—MoD法缩短 9h左右 ，而且制备 出的 YBCO超 前驱液涂覆到基片上 ，然后通过热处理使高分子分解 ， 导薄膜性能优 良，该方法为 以后的长带生产提供 了一 最后金属盐发生反应形成固体薄膜 。高分子聚合物不 种新的制备技术。 仅能够调节前驱物溶液的粘度 ，而且能与金属离子发 关键词 ： YBCO；PAD；硝酸盐 ；快速制备 生螯合作用，保持金属离子 的稳定和溶液 的均匀分 中图分类号 ： TM26 文献标识码 ：A 布_6]。2009年报道 ，MIT采用硝酸盐 PAD法制备 出 文章编号 ：1001—9731(2012)08—0984—04 了YBCO单层薄膜 ，薄膜厚度为 221nm，J 一2．31 MA／cm (77K，0T)，临 界 电流 Jc一 5O．9A／cm— 1 引 言 width_7]。用硝酸盐 PAD技术制备 YBCO 薄膜有 以 YBCO涂层导体作为第二代高温超导材料有着非 下优点：前驱液为无环境污染的水溶性无氟溶液，膜 的 常好的商业应用前景。YBCO在 77K(一196℃)的液 成型容易控制和超导性能好 ，并且制备过程较快 ，低温 氮温区下 ，有着高 的不可逆场 (7T)，高 的载流能力 分解只需 50min(传统的TFA—MOD低温分解时间至 (0．1～10MA／cm。)，低 的交流损耗等优点口]，所 以广 少需要 10h)，适合于 YBCO超导薄膜的快速制备。 泛用于超导电机、超导输 电等 电力领域 ，核聚变装置、 2 实 验 高能加速器等科学工程领域 ，磁悬浮列车、电磁推进船 等交通运输领域 ，核磁成像装置、核磁共振仪等生物医 将 Y(NO3)3·6H2O、Ba(NO3) 和 Cu(NO3)z· 学