LBO晶体的超精密加工工艺研究.pdf

2088 助 锨 财 蚪 LBO晶体的超精密加工工艺研究‘ 李 军h2，朱永伟1，左救稳1，朱镛2，陈刨天2 (1．南京航空航天大学江苏省精密与微细加工制造技术重点实验室，江苏南京210016； 2．中国科学院理化技术研究所北京人工晶体研究发展中心，北京100080) 攘装：采黉LogitechPM5耱密研毒毽机，通过瓤壤 榜辩酶工艺磷究，着隈点在磨盘配方、蘑辩粒度、糖先 抛光和化学机械抛光方法超精密加工LBo晶体；详细 时问等方面，主要依靠加工者多年的研究和丰富的经 研究了LBO晶体的趄精密加工工艺，并观察研磨和抛 验。故I。bO晶体的超精密加工王艺研究成为LBO晶 光擎加工过程后的鼹体表面形貌；研究抛光液和抛光 体广泛应用迫切斛决的重要问题。 蛰在糖光中对LBO螽俸表面微观形貌的影响。使弼 本文实验研究LBO晶俸妁超精密如工王艺。 Wkyo激竞于涉技溅蚤乎面霞，竞譬藏微筏兢察表面l。B0瑟{奉逶邋建囊餐裁、程瘗、耪密、橇藏懿竞等热王 燕绒损伤，原子力显微镜测量表面耨糙度和观察微观 工艺后，采用广泛被使用能够噍一实现全局平蠼仡的 形貌。通过实验，实现高效率、高精度、高质量的I。B0 晶体的超精密加工，得到了LB0晶体的超精密加工工 PM5精密研抛机，将抛光液的化学作用和抛光粉及抛 艺；起精密加工后晶体的表面粗糙度0．2nmRMS， 光垫的机械作用相结合，获徭农瓣损伤少的光滑晶体 表瓣乎委度A／IO(A=633nm)，敬蹊。羰謦少。表瑟。实瑷了LBO螽霉戆超凝爨翔王，获{荨高凌鍪元 荚键词： LBO晶体；超精密加工；识学机械抛光；襄 损伤的晶体表瓤；减少晶俸加鼍对经验的依赖，掇离了 面粗糙魔：表面平面度 晶体的加工效率和质量稳定性，推动LBO晶体加工的 中闰分类号：0786：TG356．28文献标识码：A 产业化工艺；获得的表面质景；表面粗糙度0．2nm RMS(root1／lean 文寒编号：1001—9731{2008)12—2088—03 10Q一633nm)，微观援镌少。 l 霉l 言 2实验设嚣 三硼酸锃(LiBa05)晶体(简称LBO晶体)[I脚是负 光性双轴晶体，具有宽的透明波段，稂高的光学均匀 要求的形状精魔，留足一定的加王尺寸。LBO晶体相 性，适中纳非线性光学系数，高的损伤阉值，宽的接收 是、，|、黪赛教煮，衰瓣纯学稳定性翻菝潮薅惶等爨受的 行臻密获褥较麓静形状精度纛掇赢嬲工效率，每换一 t 晶旋。广泛应用予医蓊稻工监尾途的NdYAG激龙 次磨料进行研磨均需保汪去除前一次研磨所引超的损 的=倍频(SHG)、三倍频(THG)器件以及光参量振荡 PM5精密研抛机 伤，并保证尺寸精度。采用Logiteeh 器(OPO)和光参鬣放大器(OPA)簿研究和应用领 进行精密研磨殿抛光。在LogitechPM5精密研抛机 域例。 LBO晶薄豹皮惩要求单晶表露怒笼澄、无续貉、 瘗，壤夺表{蓦糕耱凌霸繇王交凌滋。 无攒痿。LBO晶体豹魏工爱量鞍糖度的优劣，壹谈影 响到其器件的性能。比如当晶体表Ⅵ渐有微小缺陷时， thane抛光垫进行机械抛光，改祷表面粗糙度、获得较