MEMS超声分离腔二维简正模式谐振频率的研究.pdf

第．34卷第1期 压电与声光 V01．34No．1 2012年02月 PIEZOELECTRICSACOUSTooPTICSFeb．2012 文章编号：1004—2474(2012)01—0081—05 MEMS超声分离腔二维简正模式谐振频率的研究 7华晨辉，李彦彦 (1．电子科技大学成都学院。四川成都611731f2．河南城建学院土木与材料工程系，河南平硬山467036) 摘要：以基于二维简正模式的微机电系统(MEMS)超声分离器的结构模型为研究对象，首先根据声电类比 原理。得到超声分离腔的二维等效电路模型，通过该模型分析计算二维简正模式的谐振频率；接着通过Ansys软件 对MEMS超声分离器进行有限元的仿真分析．验证了等效电路模型的可行性，并得到了最佳激发频率；最后在实 验中分别采用单片PZT激发(2．1)阶和双片反相位PZT激发(1，1)阶的简正模式，均取得了一定分离的效果。 关键词：简正模式；驻波；超声分离；等效电路 中图分类号：T13559 文献标识码：A onTwoDimensionalNormalVibrationModesResonance of Research Frequency MEMSUltrasonic Separator HUAChenhui。LI Yanyan ofElectronicScienceand ofChina (1．University TechnologyChengduInstitute，Chengdu611731，China； ofCi“lMaterials ofUrban UniversityConstruction，Pingdingshan467036，China) 2．Faculty Engineering，Henan Abstract：AstructuremodelofMicroElectroMechanical whichbasedon System(MEMS)ultrasonic separator normal was this thetwo-dimensionalvibrationmodeschosenastheresearchin accordance object paper．Firstly，in withthe of two-dimensionalcircuitmodelofthe sectionof theoryelectricity-soundanalogy，a equivalent rectangular thefluid was tOthismodel，theresonance ofthetwo-dimensionslnorrnal cavityfiguredout．According frequencies modewere finite-elementmethodwithANSYSsoftwarewas tOdem