低温等离子体对材料的表面改性.pdfVIP

低温等离子体对材料的表面改性 张 　波 冷等离子体对材料的表面改性 ,通过放电等离 料大多是由C 、H 、O 、N 四种元素组成 ,这些分子之 子体来优化材料的表面结构 ,是一种非常先进的材 间的键能也多在 l ～10eV 之间 ,如 C - H (4 3eV ) 、 料表面改性方法 。冷等离子体的特殊性能可以对金 C - N (2 9eV) 、C - C ( 34eV ) 、C = C ( 6leV ) 等 ,恰 属 、半导体 、高分子等材料进行表面改性 ,该技术已 恰在等离子体的能量作用范围之内, 因而等离子体 广泛应用于电子 、机械 、纺织等工程领域 。 对高分子材料表面改性十分有效 ,可改变其表面的 等离子体是“物质的第四态”,它是由许多可流 化学组分和化学结构 。冷等离子体对高分子材料的 动的带电粒子组成的体系 。等离子体的状态主要取 表面改性可分为