【优质】特种加工讲座-第七章电子束离子束加工.pptVIP

08/2000 特种加工Non-traditional Machining 主讲：马苏常 天津工程师范学院 机械制造教研室 第七章 电子束和离子束加工 电子束加工是近年来得到较大发展的特种加工方法，在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。电子束加工主要用于打孔、焊接等的精加工和电子束光刻化学加工。 离子束加工与电子束加工的原理基本相同，不同的只是离子质量比电子质量大数千、数万倍，经过聚焦加速后，靠离子打击加工件的动能，或将工件的原子撞击出来(撞击效应)，或将靶材的原子撞出后飞溅沉积到工件表面上（溅射效应），或直接将离子束中的离子打入工件表层之内(注入效应)。可实现对材料的“毫微米级”或“原子级”加工。 第六章电子束和离子束加工 7.1 电子束加工 7.2 离子束加工 7.1.1电子束加工的基本原理 利用能量密度极高的高速电子细束，在高真空腔体中冲击工件，使材料熔化、蒸发、汽化，而达到加工目的。 电子束加工装置 7.1.2电子束的加工装置 電子槍 真空系統 控制系統 電源系統等四部分所組成。 7.1.3电子束加工的特点 1.是一种精密微细的加工方法。 2.非接触式加工，不会产生应力和变形。 3.加工速度很快，能量使用率可高达90％。 4.加工过程可自动化。 5.在真空腔中进行，污染少