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25 2 / 3 化 学 进 展 Vol . 25 No . 2 / 3
第 卷第 期
20 13 3 PROGRESS IN CHEMISTRY Mar . ,20 13
年 月
硅纳米线阵列的制备及其光电应用*
1 ,2 2 2 ** 1
刘 莉 曹 阳 贺军辉 杨巧文
(1. ( ) 100083 ;
中国矿业大学 北京 化学与环境工程学院 北京
2 . 中国科学院理化技术研究所 北京 100 190 )
, 、
摘 要 近年来 硅纳米线阵列在宽波段 宽入射角范围内优异的减反射性能及其在光电领域的巨大应
。
用前景引起了相关研究者的广泛关注 本文综述了国内外硅纳米线阵列的制备及其在光电应用方面的最新
。 , “ ” “ ” ,
研究进展 关于硅纳米线阵列的制备方法 主要从 自下而上 和 自上而下 两大类出发 分别阐述了模板
、 Langmuir-Blodgett ,
辅助的化学气相沉积法 化学气相沉积结合 技术法和金属催化化学刻蚀法 其中重点介绍
、 。
了目前使用最为广泛且操作简单的金属催化化学刻蚀法的步骤 机理及控制参数 关于硅纳米线阵列在光
, 、 、 、
电领域的应用 主要阐述了硅纳米线阵列在光电探测器 常规太阳能电池 光电化学太阳能电池 光催化分解
、 。 ,
水制氢 光催化降解有机污染物方面的应用 最后 从硅纳米线阵列在实际应用中面临的提高光电转换效率
,
和避免硅纳米线阵列腐蚀以提高器件的稳定性等问题出发 展望了硅纳米线阵列的表面修饰及修饰后的性
能研究是未来硅纳米线阵列光电应用研究的主要方向之一。
关键词 硅纳米线 阵列 制备 光电应用
中图分类号:O6 13. 72 ;TM9 14 . 4 + 1 文献标识码:A 文章编号:1005 -28 1X (20 13 )02 / 3 -0248-12
Preparation and Optoelectronic Applications of
Silicon Nanowire Arrays
Liu Li1 ,2 Cao Yang 2 He Junhui2 * * Yang Qiaowen 1
(1. School of Chemical and Environmental Engineering ,China University of Mining a
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