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第 30卷 第 3期 激 光 技 术 Vol. 30,No. 3
2006年 6月 LA SER TECHNOLO GY June, 2006
文章编号 : (2006)
Nd Y∶A G激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究
1 1 2
刘 源 ,李正佳 ,吴奇彬
( 1. 华中科技大学 激光技术国家重点实验室 ,武汉 430074; 2. 华中科技大学 光电子工程系 ,武汉 430074)
摘要 : 结合国内外激光薄膜加工研究结果 ,从激光与物质相互作用的角度出发 ,建立激光切割硅薄膜太阳能电池的
( )
柱面坐标理论模型 。利用 Monte Carlo法求得多层薄膜结构的光场分布 ,进一步用有限元法 fin ite elem en t m ethod, FEM
求得柱面坐标下热平衡方程的数值解 。得出了能量密度 、脉冲形状 、重复频率 、光斑形状与切割速度以及切割质量之间
的关系 。
关键词 : 激光技术 ;切割 ;有限元法 ;太阳能电池
中图分类号 : TG485 文献标识码 : A
Research of techn ica l param eters of Nd Y∶A G la ser
scr ib ing silicon f ilm solar cell
1 1 2
L IU Yuan , L I Z heng j ia , WU Q ibin
( 1. N ational L aborafory of L a ser Techno logy, HU ST, W uhan 430074 , Ch ina; 2. D ep artm en t of Op toE lectron ics Engineering,
HU ST,W uhan 430074 , Ch ina)
Ab stract: A n op ticaltherm al model in cylindrical coordinate of p u lsed laser scrib ing m u ltilayer th in film solar cell modu le
is e stab lished. Monte Carlo m ethod is emp loyed to ob tain the light fluencie s rate of m u ltilayer m aterial. F in ite elem ent m ethod
( FEM ) is u sed to solve the heat equation in cylindrical coordinate. A nd the connection of the la ser energy den sity, rep eatition
frequency, the shap e of p u lse and facu la, scrib ing rate and scrib ing quality is obtained.
Key word s: la ser techn ique; scri
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