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用悬浮结构、厚绝缘层技术来隔离电感线圈与高损耗衬底； 采用高阻或绝缘衬底降低衬底漏电损耗和涡流损耗； 采用接地屏蔽的方法来减小衬底损耗； 采用Cu、Au代替Al作为线圈材料降低线圈自阻损耗； 采用低K材料介质层降低电感的馈通电容； 优化电感线圈尺寸，如减小线圈间距、减小内圈线宽； 采用螺线管电感、自组装电感等新型三维结构电感； 各层的作用： 1、Cr：底导电层(100nm) 2、SiO2: 保护层； 3、Ti/Cu/Ti : 牺牲层 4、SU8 : 电感模 5、Cr/Au: 种子层 6、Cu : 上导电层 创建模型 设定材料类型 指定边界条件与激励条件 设置求解条件 求解 后处理 L=6.7nH 概述 电感的特征参数 低频电感 高频电感 一个简单的电感仿真实例 电源变压器 DC/DC Convertor VCO 滤波器 微磁通门 Micro-Inductors 电感主要有3个电学参数： 电感量(L) 储存和转换能量的能力 品质因数(Q) 能量储存与转化的效率 自谐振频率(f0) 电感可以工作的频率范围 带绕电感的L可以表示为： 微电感采用软磁材料有： 坡莫合金(NiFe，磁头100MHz) 铁氧体(MnZn铁氧体，20-500KHz) 纳米晶(Fe 纳米晶, Ryu: 0.8 mH Q=1.1@1MHz,1999) 其他合金 FeTaN: Shin, 1.1mH Q=7@