高质量多孔氧化铝模板的制备.pdfVIP

第22卷第7期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．22，No．7 AND BEAMS 2010年7月 HIGHPOWERLASERPARTICLE Jul．，2010 文章编号：1001—4322(2010)07—1531—04 高质量多孔氧化铝模板的制备” 刘 凯， 杜 凯， 陈 静， 周 兰， 张 林， 方 瑜 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘 要： 在草酸电解液中研究了阳极氧化法制备多孔氧化铝模板(AAO模板)。采用场发射扫描电子显 微镜对多孔模板的形貌进行表征，结果表明：模板孔的分布均匀有序，孔径在40～70rim；电解液浓度、氧化电 压、氧化温度和氧化时间都会影响模板的形态；不经过高温退火及抛光也可以制得规则排布的多孔AAO模 板。x射线衍射分析表明：氧化铝膜的主要成分为非晶态Al：O。。 关键词： 草酸； 阳极氧化； 阳极氧化铝模板； 纳米结构 中图分类号：TN25 文献标志码： A doi：10．3788／HPI。P1531 惯性约束聚变(ICF)间接驱动实验需要将高能量激光转换为x光，再均匀辐照在靶丸上。高的激光一X光 转化效率可以在同样的激光器输出能量条件下，获得更高的X光能量，从而可以降低点火对激光器输出能量 的要求。同样，采用较低的激光能量就可以得到相同的黑腔辐射温度，可以减少激光器在峰值功率运行的发 次，从而提高光学元件的使用寿命。已有的研究表明：有序纳米材料与普通块体材料相比，具有更高的激光一X 光转化效率…。另外在快点火基础物理实验中，表面具有纳米丝阵列结构的靶材料可以提高激光一X光转换效 率以及超热电子的产额，有利于获得更好的物理实验结果。阳极氧化铝(AAO)模板合成技术是近年来发展起 来的纳米结构材料组装技术之一[2巧]。该技术采用高纯铝(A1)箔在电解氧化过程中形成的纳米有序孔洞为模 板，通过电化学沉积、物理气相沉积、化学气相沉积等手段制备纳米管、线、棒等材料。AA0模板的孔径及厚度 可控，同时具有较好的热稳定性和化学稳定性。因此，AAO模板法适合于制备上述纳米丝阵列结构。本文采 用酸式阳极氧化处理制备AAO模板，研究了电解液组成及配方、阳极化处理过程、温度与时间等工艺条件对 AA0模板纳米孔洞的有序化程度及孑L径大小的影响。 1 实验部分 1．1试样预处理 采用质量分数高于99．999％的高纯铝箔(北京合纵天瑞科技开发中心提供)，氧化区面积为2cm2。实验 前，将试样依次在丙酮、乙醇中超声清洗约20min，蒸馏水冲洗之后在质量分数为5％的NaOH水溶液中放置 10 min，除去铝箔表面自然形成的氧化层，蒸馏水冲洗干净。 1．2阳极氧化 经过预处理的铝箔在草酸电解液中进行两次恒压阳极氧化处理。铂片做阴极，每次氧化时间2～10h，强 烈搅拌防止氧化膜局部过热，并增大电渗效应使电解质浓度均匀，第1次氧化后在60 g／L磷酸、20g／L氧化 铬混合溶液中常温除膜10h，去除第1步氧化形成的氧化膜，然后用蒸馏水冲洗干净，进行第2步阳极氧化，条 件与第1步相同，二次氧化成膜后以每次0．5V步进降低电压，减薄阻挡层厚度。 1．3多孔AAO膜的表征 司RUGAKU／MAX型X射线衍射仪(XRD)分析其晶体结构。 2实验结果与讨论 2．1 氧化工艺对AAO模板形貌及孔径的影响 多孑LAAO模板的形成过程本质上是一个自组织的过程，在电解液和电场的共同作用下氧化膜的溶解和 *收稿日期：2009—04—22；修订日期：2009—12-07 (9140C6805020705) 作者简介：刘凯(1984一)，男．学士．主要从事激光聚变靶材料研究；icf-lk@163．COLD_。 通信作者：杜凯(1972一)，男，副研究员；icf802@163．com。 万方数据 1532 强 激 光 与 粒