有机-无机复合材料光波导的制备.pdf

助 锨 材 抖 2008年第6期(3驰誊 有机一无机复合材料光波导的制备。 王哲哲，赵高扬，李美莲，盛淑月，张晓磊 (西安理工大学材料科学与工程学院，陕西西安710048) 摘要： 有机一无机复合光波导在光通信领域具有重 2 实验方法 要的应用价值，是目前的研究热点之一。采用溶胶一凝 2．1 胶法分别制备了膜厚达13／L￡m的光滑平整的PMMA 2．1．1 膜和具有紫外感光性的膜厚为1．76／比m的Si02／ZrOzPMMA溶胶的配制t t 凝胶膜，研究了Si02／Zr02凝胶膜的感光性及紫外光将PMMA粉末和三氯甲烷(CHCI。)溶剂按1 照对两种薄膜折射率的影响。在此基础上，以PMMA10的比例混合，在磁力搅拌器上搅拌至PMMA粉末 膜为包层膜，Si02／Zr02凝胶膜为芯层膜，实现了光波 完全溶解，再经过过滤最终获得无色透明的PMMA 导的包芯层复合。利用Si02／Zr02凝胶膜的感光性， 溶胶。 结合紫外掩模技术，制备了条形的有机一无机复合光波 2．1．2 SiOz／Zr02有机无机复合溶胶的配制 导，理论分析表明该复合条形光波导能够实现入射波 在相对湿度30％的手套箱内，将苯酰丙酮 长为1．31／L￡m，模数为O，1的传榆。 关键词： 复合光波导；PMMA膜；Si02／Zr02凝胶 膜；折射率 中图分类号：TB43；TN252文献标识码：A 酰丙酮和四丁醇锆发生螯和反应，形成具有含锫螯和 文章编号：1001—9731(2008)06—0892—04 物的稳定的溶胶，最后再添加KH一570，继续搅拌2h， 形成稳定的SiOz／ZrOz溶胶。各组分的添加比例为n 1 引 言 l l I =10．780．7 20。 薄膜光波导是集成光学的基本组成部分，复合光 2．2薄膜与复合条形光波导的制备 波导更是目前的研究热点[1]。复合光波导一般由满足 一定折射率差的包层和芯层组成，其中包层材料主要 利用上述溶胶，采用浸渍提拉法分别在石英和硅 是低折射率材料如二氧化硅，而芯层材料则是具有较 英基板制备的薄膜，利用紫外一可见光分光光度计 高折射率的材料，如铌酸锂镀钛，InGaAsP／InP等[2]。 (JASCO 目前复合光波导的制备方法大多采用阳极氧化 V一570)测试其紫外光谱，采用红外分光光度 计(SHIMA胁ZU 法，火焰水解法，等离子体增强化学气相沉积法等[3]在 硅衬底上制备二氧化硅包层，然后采用溶胶一凝胶法或 和薄膜的红外光谱。实验中可通过改变溶胶的浓度和 提拉机的速度获得不同膜厚的PMMA膜和Si02／ 化学气相沉积法在包层上制备芯层薄膜。利用上述方 Zr02凝胶膜。 法制备二氧化硅包层材料的成本较高，工艺复