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氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材制备及其薄膜性能.pdf
第28卷第1期 真空科学与技术学报
VAcI『I AND
2008年1、2月 C嗍JOURNAL0F 7MSc】吲cE 1ElCHN010GY
氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材制备及其薄膜性能
杨伟方1 梁展鸿2侯亚奇2庄大明2‘张弓2
(1．金洲集团湖州313000；2．清华大学机械工程系北京100084)
ofZincAluminumFilmsIts Fabrication
Oxide and Ceramic
Properties Target
YangWeifangI，LiangZhanhon92，Hou№i2，ZhuangDarnin92。，ZhansGo哥
313000，Ch／na；
(1．K／nghmdCorporat／on，Huzhou，Zhejiang
2．DepartmentofMedian／ca／西讲魄，死咖University，嫩100084，China)
Abstract costzinc was combinationof
aluminumoxide(ZAO)ceramicfabricatedg
compact，low target by
Highly
of lab-
andconventional middle the
sol-gel films珊grown
technique．‰．ZAO by frequencymagnetronsputtering
made microstmctureswerecharacterizedwith electron
diffraction(XSD)and
target．Its X-ray scanning moicroscopy
resultsshowthat ZAOfilmsCallbe withthelab-made resultswereal一
(SEM)．The highquality grown targets．Satisfactory
’
80obtainedin test．
theindustrial thinfilm
magnetron
sputtering
ZAO，Ceramic
Keywords target，Thinfilm，Magnetronsputtering，Resistivity，Transmittance
摘要溶胶．凝胶方法制备的ZnO和她03混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结，制备了高致密度(相对密度99％)、低
成本的ZAO陶瓷靶材。研究了ZAO靶材与无氧铜的粘接性能。用中频交流磁控溅
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