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氧化锌银双层膜负反馈阴极电极的制备及性能研究.pdf
第41卷系12期 西安交通大学学报 V01．41N012
OFXI’AN UNIVERSITYDee．2007
2007年12月 JOURNAL JIAOTONG
氧化锌／银双层膜负反馈阴极电极的制备及性能研究
商世广，朱长纯，贺永宁，刘卫华
(西安交通大学电子与信息工程学院，710049,西安)
摘要：提出了一种可显著改善碳纳米管(CNTs)场致发射性能的ZnO／Ag兢层膜负反馈阴极电极
的制备方法．在条形银电极上溅射沉积一定厚度的zn膜，经热氧化和湿法刻蚀制备成ZnO／Ag双
层膜电极．同单层的Ag或氧化钼锡电极相比，该电极不仅具有足够的负反馈电阻(限流电阻)阻止
CNTs场发射中过流的发生，而且降低了条形阴极电极的线性电阻，确保了场发射的均匀性．当溅
射沉积Zn膜的厚度从40m增到120nm时，热氧化形成的ZnO由孤岛状的颗粒变为连续俸的薄
膜，ZnO／Ag双层膜电极的表面光洁度比单层的Ag电极有很大的提高，负反馈电阻层的电阻增
大，负反馈的能力增强．CNTs薄膜阴极场发射特性曲线证明，ZnO／Ag双层膜电极能明显降低场
发射电流的波动，有效提高器件的稳定性和寿命．
关键词：册极电极；磁控溅射；碳纳米管；场发射
on andCharacteristicsof
Research ZnO／AgBilayer
Preparation
FeedbackCathodeElectrode
Negative
Weihua
Changchun，HeYongning，Liu
ShangShiguang，Zhu
Ehetronitsand Jiaotong
(sch001of Information凸lgineering，Xi’anUniversity，Xi’∞710049，China)
was
methodof feedbackeathodeelectrodes
Abstract；A ZnO／Agbilayer pro—
preparation negative
can thefieldemission ofcarbonnanotube(CNT)
remarkablyimprove properties
posed，which
films．Directcurrent was to Znfilmon sliverelec-
magnetronsputteringadopteddeposit strip
wet tofabricate
thenthermal and were bilayer
trodes，and oxidizing etchingemployed ZnO／Ag
indiumtin
to electro
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