大行程快速刀具伺服装置的设计.pdfVIP

第 8期 机械 设计 与制造 2014年 8月 Machinery Design Manufacture 69 大行程快速刀具伺服装置的设计 徐 兵 ，张 旭 ，王 俊 27刘 强 (1．长春工业大学 机电工程学院，吉林 长春 130012；2．吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 130025) 摘 要：基于快速刀具伺服(FastToolServo，Frs)的金刚石车削加工技术是一种非常有发展前景的光学自由曲面加工手 段。以柔性铰链和音圈电机为主要元素，研制一套大行程快速刀具伺服系统，该系统具有刚度大、工作稳定性好、阻尼可 调等优点。详细介绍了柔性铰链的设计与分析、FTS系统性能测试和 自由曲面切削试验，新型FTs系统的跟踪误差为 0．12％，运动分辨率优于0．04．m，可以获得Ra30nm的光学自由曲面。测试和加工结果表明，新型的兀 系统可以用光学 自由曲面高效、高精密金刚石车削加工。 关键词：光学 自由曲面；快速刀具伺Ilt；金刚石车削；柔性铰链 中图分类号：THl6 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2014)08—0069—02 TheDesignofaLongStrokeFastToolServo XUBing，ZHANGXu，WANGJun，LIUQiang (1．CollegeofElectromechanicalEngineering，ChangchunUniversityofTechnology，JilinChangehun 130012，China； 2．CollegeofMechanicalScienceandEngineering，JilinUniversity，JilinChangchun 130025，China) Abstract：(FastToolServo，FTS)assisteddiamondturningismostpopulartechniqueforopticalpe~rmStt~cClCesdiamond turning．AnovellongstrokeFTSisdevelopedwhcihsimainlymadeupofvoicecoilmotortD2dJelxurehinge．Thelongstroke HShastheadvantageofhighstffiness，highworkingstabilityandadjustbaleclamping．Thedesignandanalyssiofthenew flexurehinge，pe咖 etestsofthenewFTSsystemnadcuttingexperimentssithoroughlyintroducedhere．Thefollowing errorsi0．12％ofthefullstroke．ThemotionrevolutionsibaoutO．041xm．Thesu~o,cesroughnessofthemachinedfreeform suoCacesiRa30nm．Thetestsandcuttingexperimentsshowsthatthenovellong strokeVISCnabeusedforthefbarci~ionof opticalfreeformsuDFaceswithhUghprecsiionnadhighfrequency． KeyW ords：OpticalFreeform Surfaces；FastToolServo；DiamondTurning；FlexureHinge 1引言 采用音圈电机和柔性铰链是设计大行程 FTS装置的最佳选 择。柔性铰链采用双排十字形铰链结构，具有较高的 向和Y向 光学 自由曲面可以改善光学性能，提高光学利用率，一个或