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CuNi多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究.pdf
J. Chin. El ctr. Microsc. Soc.
278 24( 4)!278~ 278 2005
CuNi
谭 军, 谢天生, 张广平
( 沈阳材料科学国家( 联合) 实验室, 中国科学院金属研究所, 辽宁沈阳110016)
,
,
,
, -
,
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,
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, ( FIB) 1 CuNi Bar = 500nm
, FIB cu ,
, Cu
1 , ,
CuNi , Cu , Ni
1000nmCu: 150 nm, Ni: 75nm, CuNi ,
MTS XP ind nt r, 100mN, Cu,
25mNsNova 200 nanolab , Cu
, Cu ,Ni
2 , ,
1 CuNi FIB , Ni
, CuNi ,
2a FIB
, ,
, 2b ,
, ,
2 CuNi a:
( Bar= 2m) ; b: ( Bar= 1m)
: ( 973) (No2004CB619303) .
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