BaxSr1-xTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化.pdfVIP

Vol 3 第18卷第3期 无机材料学报 18,No Journalof Materials May，2003 2003年5月 Inorganic 文章编号：1000—324X(2003)03-0595．06 Ba。Srl一。Ti03前驱多层膜制备及后热处理条件的优化 郭杏元1，刘庆峰1，刘 茜1，吴庆生2 (1．中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验宣，上海 200050；2．同济大学化学系，上海200098) 摘 要：用Ar+离子束多靶溅射沉积技术在单晶硅Si(100)上顺序沉积了Tioz、BaC03、 SrC03叠层，并经后期低温扩散和高温晶化两步热处理过程制备了BatSrl一。Ti03薄膜．用俄 歇扫描电子能谱(AES)对其低温扩散效应(温度、时效、沉积顺序)进行了研