α-SiOx∶H钝化Cz-Si表面的工艺优化与机制分析.pdfVIP

黄海宾 等: 钝化 表面的工艺优化与机制分析 α-SiO ∶H Cz-Si x ０９１０１ 文章编号: ( ) １００１-９７３１ ２０１４ ０９-０９１０１-０３ α-SiO ∶H 钝化Cz-Si表面的工艺优化与机制分析∗ x , , , , , , 黄海宾 张东华 汪已琳 龚洪勇 高 江 周 浪 　 Wolf an R．Fahrner 　 g g ( , )