Zr0.5Ti0.5O2纳米薄膜的光电性能.pdfVIP

V01．32 高等学校化学学报 No．8 2011年8月 CHEMICALJOURNALOFCHINESEUNIVERSITIES 1785—1788 Zro．sTio．502纳米薄膜的光电性能 张海峰，张敏，阮圣平，孟凡旭，冯彩慧，徐 洋，陈维友，张歆东 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，长春130012) 摘要采用溶胶．凝胶法制备了zr0．，Ti”O：复合氧化物纳米薄膜，通过X射线衍射分析(XRD)、扫描电镜分 析(SEM)、紫外一可见吸收光谱(UV．Vis)和X射线光电子能谱(xPs)等方法对材料进行了表征．结果表明， 纳米薄膜为Zr：Ti原子比为1：1的复合材料，薄膜表面平整、致密、光滑，皲裂情况较单纯的TiO：和ZrO：薄 膜有明显改善；另外，由于zr的掺入，薄膜在紫外光波段具有良好的吸收，吸收带较TiO：薄膜有明显的蓝 V 移．通过标准的光刻剥离技术和磁控溅射