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ZrNb薄膜材料的制备及界面结构研究.pdfVIP

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  • 2015-09-19 发布于湖北
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ZrNb薄膜材料的制备及界面结构研究.pdf

    ZrNb薄膜材料的制备及界面结构研究.pdf

    真空科学与技术学报 第31卷第2期 CHINESE OFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY JOURNAL 2011年3．4月 Zr／Nb薄膜材料的制备及界面结构研究 姚文清H 张立武1 牟豪杰1张川1严谨1朱永法1。杨江荣2刘柯钊2鲜晓斌2 (1．清华大学化学系北京100084；2．表面物理与化学国家重点实验室绵阳621907) GrowthandInterfaceStructuresofZr／NbFilmsand Si(1lO)Substrate Yao Liwul，Mu WenqingH，ZhangHaojiel，加唱Chuanl，YahJinl，ZhuYongfaH， Kezha02，XianXiaobinz

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