多壁碳纳米管湿度传感器频率特性.pdfVIP

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2015-09-22 发布于湖北
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多壁碳纳米管湿度传感器频率特性.pdf

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第8卷第4期纳米技术与精密工程 V01．8No．4 2010年7月 andPrecision Jul．2010 NanotechnologyEngineering ofMulti-WalledCarbon Nanotube Sensor FrequencyProperties Humidity LIU Xin．1ai’ Xiao．weil一，ZHAOZhen．gan91，WANGXinl。ZHOU of Instituteof (1．SchoolAstronautics，Harbin Technology，Harbin150001，China； of andMicro—Structures of of 2．KeyLaboratoryMicro·Systems ManufacturingMinistryEducation， HarbinInstituteof Technology，Harbin 150001，China) theeffectofthe on Abstract：To sensor to themeasur- study testingfrequenciesproperties，andimprove methodandthe ofthemulti—walledcarbon fire- ing properties nanotubos(MWCNTs)humiditysensor，the ofthet把nsorwere electrodesweremadeonthe substrate quencyproperties studied．Interdigital glass by and a of mixtureWaScoatedonthe evaporationphotolithography，thenlayerMWCNTs·Si02 electrodes，at laSt wasnodulizedin thesensor vacuumcircumstance．Thecontrolledrelative mentswereachievedsaturatedsaline thesensorwaStestedautomaticRCLmeter using solutions，and by atthe from1 kHzto500kHz．The ofthesensorwerestudied