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非平衡态等离子体的仿真研究现状与新进展.pdf
2014年6月 电工 技术学报 V01.29No.6
非平衡态等离子体的仿真研究现状与新进展
荣命哲 刘定新 李 美 王伟宗
(西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室 西安710049)
摘要 非热力学平衡态等离子体技术既是现代工业的关键技术之一,也是未来高科技的重要
发展方向。通过仿真研究深入揭示此类等离子体的微观机理,阐明等离子体的宏观特性变化规律,
对于提高科学认知水平并促进产业发展具有重要意义。传统的仿真研究主要集中于低气压条件下
的非热力学平衡态等离子体,在大气压及更高气压条件下开展较少。本文主要针对高气压非热力
学平衡态等离子体,对国内外仿真模型进行了综述。非热力学平衡态等离子体一般包括局部化学
平衡和非化学平衡两种状态,前者中的粒子组分可由宏观的热力学统计原理计算得到,后者必需
考察微观的物理和化学过程。针对局部化学平衡态等离子体,介绍了双温度条件下微观粒子组分
和宏观物理特性分布规律的计算模型,重点讨论了基于质量作用定律、吉布斯自由焓最小化原理
与化学动力学方法的粒子组分计算方法;针对非化学平衡态等离子体,介绍了基于漂移一扩散原理
的流体模型和化学动力学模型,提出了全局模型与流体模型的联合仿真新方法。
关键词:非热力学平衡 局部化学平衡 非化学平衡 双温模型 全局模型
中图分类号:TM5012
ResearchStatusandNew ontheNumericalSimulationof
Progress
Plasmas
Non-Equilibrium
Liu LiMei
RongMingzheDingxin WangWeizong
(StateLabofElectricalInsulationandPower
Key Equipment
Xi’an Xi’an710049China)
JiaotongUniversity
AbstractThe isa ofthemodern
non·equilibriumplasmatechnologykeytechnology industry,
innear mechanism
andalsoan direction future.The
development microscopic
importanthigh-tech
insuch its tothe tobefurther
underlyingplasma,andrelationshipmacroscopicproperties,need
unraveled.Thatisof for thelevelofscientific andto
greatsignificanceimproving understanding
industrial simulationresearchhasfocusedonthe
now,much low-pressure
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