传感器与检测技术 教学课件 林锦实 第3章　物性型传感器.pdf

36330z3 主编 第3章　物性型传感器 第3章　物性型传感器 3.1　压电式传感器 3.2　光电式传感器 3.3　霍尔式传感器 3.4　磁电式传感器 3.5　超声波传感器 3.6　核辐射传感器 3.1　压电式传感器 3.1.1　压电效应 某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而发生变形时，内部会 产生极化现象，同时在其表面上产生电荷，当外力去掉后，电介质 表面又重新回到不带电的状态，这种现象称为压电效应。反之，这 些电介质在极化方向上施加交变电场，它会产生机械变形，当去掉 外加电场后，电介质变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。在 自然界中大多数晶体具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对 材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡和锆钛酸铅等材料是性能 优良的压电材料。现以石英晶体为例，简要说明压电效应的机理。 3.1　压电式传感器 图3-1　石英晶体 a)天然结构的石英晶体外形　b)晶体切片　c)晶片结构 a—晶体切片长度　b— 晶体切片厚度　c—晶体切片高度　x— 电轴　y—机械轴　z—光轴 3.1　压电式传感器 图3-2　石英晶体压电模型 a)不受力　b)x轴方向受力　c)y轴方向受力 3.1.2　压电式传感器的等效电路 3.1　压电式传感器 由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看做一个电荷发生 器。同时，它也是一个电容器，晶体上聚集正负电荷的两表面相当 于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质，则其电容量Ca为 图3-3　压电传感器的等效电路 a)电压源　b) 电荷源 3.1　压电式传感器 图3-4　压电传感器的实际等效电路 a)电压源实际等效电路　b) 电荷源实际等效电路 3.1　压电式传感器 图3-5　电荷放大器等效电路 3.1.3　压电式传感器的测量电路 3.1　压电式传感器 压电式传感器本身的内阻抗很高，而输出能量很小，因此它的测量 电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，其作用为：一是 把压电式传感器的高输出阻抗变换为低输出阻抗；二是放大传感器 输出的微弱信号。压电式传感器的输出可以是电压信号，也可以是 电荷信号，因此前置放大器也有电压放大器和电荷放大器两种形式。 由于电压前置放大器中的输出电压与屏蔽电缆的分布电容及放大器 的输入电容有关，故目前多采用性能较稳定的电荷前置放大器。 3.1.4　压电式传感器的应用 1.压电式单向测力传感器　图3-6是压电式单向测力传感器结构图， 它主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。 3.1　压电式传感器 图3-6　压电式单向测力传感器结构图 1—绝缘套　2—石英晶片　3—上盖 4—基座　5—电极 3.1　压电式传感器 2.压电式加速度传感器　图3-7是压电式加速度传感器结构图。 F=ma(3⁃ 7) 3.压电式金属加工切削力测量　图3-8是利用压电陶瓷传感器测量刀 具切削力的示意图。 图3-7　压电式加速度传感器结构图 1—螺栓　2—压电元件　3—预压弹簧 4—外壳　5—质量块　6—基座 3.1　压电式传感器