基于LabVIEW的温控系统.pdf

2012年 仪表技术与传感器 2012 第9期 Instlllment andSensor No．9 Technique 基于LabvIEW的温控系统 鄢志丹1…，孙立东2，胡春光3，胡小唐3，P．zeppenfeld2 (1．中国石油大学(华东)信息与控制工程学院，山东青岛2665舳；2．林茨大学实验物理研究所原子与表面科学系， 奥地利A一4040；3．天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津3∞072) 摘要：衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素。针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求，文 中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统，详细论述了I小VIEw环境下的温控系统应用软件设计思路，该应 用软件通过VIsA接口与精密温度控制仪进行数据通信，依据其内置的PID控制算法，实现温度控制。测试试验表明：该 系统具体良好的恒温效果，能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求，具有很高的实用价值。 关键词：温控系统；I小VIEW；串行通信 中图分类号：TM924 文献标识码：A 文章编号：1002一1841(2012)09—0013—02 control basedon Temperaturesystem LabVIEW YAN zhi—dalll一，suN“-don92，Huchun．guan93，Huxiao．tan矿，P．zeppenfeld2 ofInfomm娃蚰＆C∞tIIol (1．CoUege EngiII∞血g，Chi蚰Universi何ofPen．ole哪(E鼬tChiIla)，266580Qingdao，Sh锄． mr dongI，roVillce，ChiIIa；2．I聃6tute Lillz，A一4040 Experim蚰talphysik，Joh蛐嚣Kq蛆盯Ullive商tatLinz，A鹏tria；3．3 State 0fPr∞ision KeyLabo均tory M翻印血gTedmolo器柚dI璐仃咖吨nts，删illUIlive聃i留，30伽172 Tia啦in，CIlina) substrate Abst瑚m：The isa thethin onthe depositi彻tem|艘turekey f如tor胡＆ting film刚hInorph010舒．BasedteH率盯＆ture contrlol in c彻trol resistive aIld requirementIlllIa-lli曲Vacu哪t}IinfilIn铲。卅hprocess，AteInperaturesystemcorllbiIlingheatingup liquid downrrlecharIi锄isdiscIlssedint}le soft、忸re 0f w|lichis thesoftware heli啪c00ling paper，tlle d